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孙南岳专利技术
孙南岳共有1项专利
一种多晶硅氢化炉用石墨底座制造技术
本实用新型公开了一种多晶硅氢化炉用石墨底座,它是用来将发热体与外部供电设备连接起来的引电体。该石墨底座包括与发热体接触的上边缘与下边缘,将上边缘设为圆角,将下边缘设为圆角或者直角。这种石墨底座可极大地减弱在运行过程中发热体与石墨底座之间...
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