本发明的课题在于提供一种谋求半导体器件的试验成本降低的检查装置。该检查装置包括可接纳于腔内的试验板；凹座，多个凹座安装于试验板的第１主面上，在该凹座上装载有构成试验对象的半导体器件；器件试验机构，多个器件试验机构安装于试验板中的第２主面...