一种ＭＥＭＳ开关包括微机械加工的单层（１２２），该单层（１２２）具有杠杆（５２）、一对扭杆（６６ａ、６６ｂ）和框架（６４）。框架（６４）支撑杠杆（５２）以绕扭杆（６６ａ、６６ｂ）所建立的轴线（６８）转动。在杠杆（５２）末端处的短路棒（５...

一种ＭＥＭＳ开关包括微机械加工的单层（１２２），该单层（１２２）具有杠杆（５２）、一对扭杆（６６ａ、６６ｂ）和框架（６４）。框架（６４）支撑杠杆（５２）以绕扭杆（６６ａ、６６ｂ）所建立的轴线（６８）转动。在杠杆（５２）末端处的短路棒（５...

各种构造的ＭＥＭＳ开关提供了单独可制动的触点。ＭＥＭＳ开关由改进的阳极接合技术来密封。