本技术公开了一种真空炉的气动锁紧装置，涉及真空炉的制造领域，包括真空炉、炉门，所述真空炉的端部开设有多组安装槽一，且安装槽一内固定设置有气动锁一，所述炉门的端部开设有多组安装槽二，且安装槽二内螺纹连接有气动锁二。本技术通过设置气动锁一和...

本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的收卷机构，涉及真空镀膜设备领域

本实用新型公开了一种热蒸发机构，涉及真空镀膜机领域。本实用新型包括电子枪外壳，所述电子枪外壳的内部设置有底座和连接发射体，所述连接发射体的前表面开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有灯丝，所述压紧机构包括套筒，所述套筒的两侧设置有挤压块，...

本实用新型提供了一种真空镀膜机的水冷工件架旋转机构，包括固定座、石英晶体杆、套筒和电机，所述固定座为内部中空上下两端有开口的腔体结构，在该腔体内设置有大齿轮、小齿轮、轴承和工件架法兰，其中大齿轮与小齿轮相啮合，且大齿轮与工件架法兰固定连...

本实用新型提供了一种带水冷结构的坩埚，包括坩埚座、底盖、隔板和转轴，所述坩埚座的上端面开设有坩埚槽，在该坩埚槽内安装有坩埚本体，所述底盖与坩埚座之间设置有密封圈，且底盖与坩埚座固定连接后形成一密封的腔体，隔板设置在该腔体内，且隔板将腔体...

本实用新型提供了一种真空镀膜机，包括相对密封的真空成膜室和过渡室，所述真空成膜室和过渡室之间通过两个分隔阀门在空间上隔离，在真空成膜室内设置有成品旋转装置，在过渡室内设置有两个移栽装置，两个所述移栽装置上均对应设置有上下料机械手，所述上...