本技术涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆边缘检测装置及其晶圆检测设备。晶圆边缘检测装置包括旋转吸附组件、升降承托组件和成像检测组件；旋转吸附组件包括旋转驱动件和吸附头，吸附头与旋转驱动件传动连接；升降承托组件包括升降驱动件和承托件，...

本技术涉及载具固定技术领域，具体涉及一种载具固定装置及其晶圆检测设备。载具固定装置包括底板、安装架和压紧机构，压紧机构包括抵压件。底板用于放置需固定的载具，安装架安装在底板上，压紧机构转动安装在安装架的顶部，且能够进行俯仰转动。固定载具...

本技术涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆检测设备。晶圆检测设备包括晶圆边缘检测装置、晶圆表面检测装置和机械手；晶圆边缘检测装置、晶圆表面检测装置设于机械手的旁侧。晶圆边缘检测装置用于检测晶圆边缘瑕疵，晶圆表面检测装置用于检测晶圆表面...

本技术涉及晶圆制造技术领域，具体涉及一种晶圆表面检测装置及其晶圆检测设备。晶圆表面检测装置包括检测台、主相机、辅相机和激光对焦机构；检测台用于放置待检测晶圆，主相机、辅相机和激光对焦机构安装于检测台的上方；辅相机的检测精度大于主相机的检...