本发明公开了一种带有碎屑清理功能的CMP研磨机，涉及CMP研磨机技术领域，包括研磨机壳、研磨盘、喷液头、研磨装置和清理装置，研磨装置能够对研磨过程中产生的碎屑进行限制，使碎屑无法随研磨液自由扩散，绝大部分碎屑在生成后立即被限制在预设区域...