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上虞晶盛机电工程有限公司专利技术
上虞晶盛机电工程有限公司共有6项专利
直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置制造方法及图纸
本实用新型涉及一种直拉式单晶生产技术,旨在提供一种直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置。该装置包括滑轮、引出导线、外层包覆绝缘材料的缆索管、钢丝绳、金属材质的籽晶夹头、石英坩埚、石墨坩埚、导电材料的坩埚托杆和引出导线;钢丝绳...
带水冷夹套的直拉式硅单晶生长炉制造技术
本实用新型涉及硅单晶制备装置,旨在提供一种带水冷夹套的直拉式硅单晶生长炉。该生长炉包括加热器、石英坩埚和保温装置,石英坩埚上方设有围护着单晶棒提升区域的热屏装置;在热屏装置与单晶棒提升区域之间设置一个筒状的水冷夹套;所述水冷夹套是中空的...
改进的直拉单晶炉加热器结构制造技术
本实用新型涉及加热器装置,旨在提供一种改进的直拉单晶炉加热器结构。该加热器包括在轴线方向上布置了交互且均匀开槽的环形石墨加热器,在环形石墨加热器上设置一个减薄加热段,减薄加热段的径向横截面积为加热器其余部位的径向横截面积的2/3~3/4...
带水冷夹套的直拉式硅单晶生长炉制造技术
本发明涉及硅单晶制备装置,旨在提供一种带水冷夹套的直拉式硅单晶生长炉。该生长炉包括加热器、石英坩埚和保温装置,石英坩埚上方设有围护着单晶棒提升区域的热屏装置;在热屏装置与单晶棒提升区域之间设置一个筒状的水冷夹套;所述水冷夹套是中空的夹套...
改进的直拉单晶炉加热器结构制造技术
本发明涉及加热器装置,旨在提供一种直拉单晶炉的石墨加热器的改进结构。该加热器包括在轴线方向上布置了交互且均匀开槽的环形石墨加热器,在环形石墨加热器上设置一个减薄加热段,减薄加热段的径向横截面积为加热器其余部位的径向横截面积的2/3~3/...
直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置制造方法及图纸
本发明涉及一种直拉式单晶生产技术,旨在提供一种直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置。该装置包括滑轮、引出导线、外层包覆绝缘材料的缆索管、钢丝绳、金属材质的籽晶夹头、石英坩埚、石墨坩埚、导电材料的坩埚托杆和引出导线;钢丝绳、滑...
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