本发明提供一种颗粒污染标准晶圆及其制备系统和方法与应用。包括依次连接的雾化模块、干燥模块和喷涂模块；喷涂模块包括颗粒喷涂腔，颗粒喷涂腔的内部设有电磁阀、喷嘴以及用于承载晶圆的平台；电磁阀的一端与喷嘴的入口连接，另一端通过喷涂气路与干燥模...