本实用新型公开了一种卧式扩散炉炉体对中调整装置，包括：座，用于所述调整装置在卧式扩散炉装置上的安装；竖向调整装置，提供该竖向调整装置中输出构件竖向或者竖向分量的调整；横向调整装置，安装在所述输出构件上，该横向调整装置的末端用于承持扩散炉...

本实用新型公开了一种花篮中硅片取放装置及匀胶机，其中花篮中硅片取放装置，包括：横移导轨，安装在匀胶机的平台上，并与匀胶机的横轴平行；拖板，运行在横移导轨上；横向驱动部，用于驱动拖板在横移导轨上运行；纵移机构，位于所述拖板上，且纵移机构的...

本实用新型公开了一种CVD设备支撑轴动密封结构及CVD设备，其中CVD设备支撑轴动密封结构包括：支架；水冷套，立式地安装在CVD设备的炉门下端；密封部，安装在水冷套的下端，该密封部包括自润滑密封件；其中，密封部用于坩埚支撑轴的导引密封，...

本发明公开了一种CVD真空设备及立卧切换实现方法，本发明将炉体配置成能够随支撑架摆转的炉体，炉体的摆转范围是90度，从而恰好适配于立式状态与卧式状态转换所需要的角度。炉体具有上炉门和下炉门，其中，下炉门在卧式状态时处于开启的状态，而在立...