本实用新型公开了一种多气体均匀混气罐，包括混气罐罐体，混气罐罐体内部的中部位置按不同高度设置有第一混气网孔板、第二混气网孔板、第三混气网孔板和第四混气网孔板，第一混气网孔板、第二混气网孔板、第三混气网孔板和第四混气网孔板贯穿圆心固定设置...

本实用新型的一种立式高温氧化、退火炉包括：真空密封炉膛，通过炉底法兰与真空密封炉膛连接的炉门室，炉门室底部开口处通过炉门密封，真空密封炉膛内设有保温层，所述保温层与工艺炉管之间形成加热腔，所述加热腔内设置加热器；所述工艺炉管与炉底法兰、...

本实用新型公开了一种带螺旋蒸汽管的水汽蒸发系统，包括供水系统，用于提供定量纯水，和供气系统，用于提供定量携带气，所述供水系统和供气系统通过气水三通与蒸汽管连通，并将纯水和携带气混合形成气水混合物，所述蒸汽管为螺旋状，所述蒸汽管被蒸发加热...

本实用新型公开了一种带水汽蒸发系统的工艺腔室，包括架体，架体上安装有加热器，加热器的内侧安装有工艺管，工艺管安装在加热器之间，且为非接触式固定安装，工艺管的管口处设置有工艺管密封法兰压紧工艺管密封圈，在管口的外侧设置有摆动炉门，工艺管下...