本技术属于晶圆制造技术领域，公开了一种半导体晶圆制程槽的转动机构，包括支架、驱动机构以及传动机构，支架设于制程槽的外部且一侧与制程槽的外侧相连接，驱动机构架设于支架，传动机构包括传动架、主动轮和从动轮，传动架设于制程槽的内部，主动轮和从...

本技术属于半导体设备技术领域，公开了一种清洗设备，包括壳体和设置在壳体内的工艺槽、滚动机构、搬运机构和喷淋机构，工艺槽分为第一清洗槽和第二清洗槽，第一规格晶圆扩散高温密封管在第一清洗槽浸泡后由搬运机构搬运至第二清洗槽，进行不同工序清洁，...

本技术公开了一种双钩式花篮吊钩，包括：安装组件，安装组件呈对称设置；安装组件的侧部安装有悬吊组件，安装组件的底部安装有感应装置，悬吊组件包括：悬吊架，悬吊架呈U字型设置，且悬吊架的端部设置有向内的翻边；安装板，安装板连接于悬吊架的端部，...

本技术公开兼容多种尺寸夹爪，包括用于支撑的支撑卡轴，所述支撑卡轴的上端面中心处固定设置有支撑底板，且位于所述支撑底板的上端面固定设置有用于防护的防护罩，所述支撑底板的上端面中部处设置有导向装置。本技术的夹爪通过步进电机提供动力，可以控制...

本技术公开取花篮推车，包括固定箱体，所述固定箱体的内端面固定设置有用于支撑的限位骨架，且位于所述固定箱体的下端面四角等距设置有用于导向的脚轮，所述限位骨架的上端面靠近后部固定设置有操控面板。本技术通过电动推杆和花篮钩子的配合提取花篮节省...

本技术涉及机械技术领域，公开了一种可控性高的晶圆花篮夹取机构，包括机架，所述机架上通过Z轴伺服模组安装有可升降的旋转机构，所述旋转机构底部设有可旋转的连杆，所述连杆底部设有夹爪机构，所述夹爪机构设有两组底部可开合控制的夹取钩架。本夹取机...

本技术隔断门技术领域，公开了一种适用范围广的隔断门，隔断框架，所述隔断框架固定安装在安装箱体内；无杆气缸，横向安装在隔断框架内，且输出端行径方向与隔断门移动方向一致，所述无杆气缸带动隔断门在打开状态和关闭状态之间变换。通过滑轨和气缸使隔...

本技术公开一种具有防腐功能的光电传感器保护结构，包括用于支撑的支撑板，所述支撑板的下端面等距设置有铝型材支柱，位于同一侧部的两组所述铝型材支柱的底部设置有支撑底板，位于一侧的所述支撑底板的上端面设置有第二丝杆模组。本技术与原有的结构相比...

本技术公开了一种晶圆花篮上下摆动机构，包括晶圆花篮本体，所述晶圆花篮本体底部的两侧均固定连接有密封箱，所述密封箱内部的顶部设置有工字板，所述工字板顶部两侧的前侧与后侧均固定连接有敲击块，所述敲击块与密封箱的内壁活动连接，所述工字板底部的...

本技术公开了一种可更换多组晶圆的托举结构，包括基座和承片台，所述承片台设置有两个，所述承片台的底部与基座顶部的两侧固定连接，所述基座的顶部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有螺杆，所述螺杆表面的底部螺纹连接有螺套。本技术通过设置承...

本发明属于半导体技术领域，公开了晶圆清洗方法及清洗装置。晶圆清洗方法包括获取晶圆并将晶圆转运至清洗腔内；控制夹持机构将晶圆固定在清洗腔内；驱动夹持机构旋转以带动晶圆旋转，并依次向晶圆喷射第一流体和第二流体以对晶圆进行清洗；当晶圆完成清洗...