本技术涉及一种晶圆清洗内辊及组装式清洗辊，包括辊体，中部设有进液孔，辊体外侧设有若干出液槽，进液孔设有与出液槽连通的出液孔，所述出液槽截面整体呈矩形，将出液槽截面整体设置为矩形，从而出液槽具有一定的容积，在外部设置海绵刷之后，进液孔内进...

本技术涉及一种晶圆刷包装盒，包括第一盒体和第二盒体，第一盒体和第二盒体分别设有与外部连通的第一腔体和第二腔体，第一盒体和第二盒体的接触密封面设有凸起的连接部和内凹的连接槽，连接部和连接槽为间断式分布，连接部和连接槽分布在第一腔体和第二腔...

本技术涉及一种卡扣式晶圆刷，包括底座，所述底座上侧设有固定扣，所述底座与固定扣可拆卸连接或固定连接，所述底座上侧设有刷头，所述固定扣与底座固定后将刷头限位在底座上侧位置，所述固定扣顶部设有开孔，所述刷头在固定扣开孔位置延伸至固定扣的外侧...

本技术涉及一种晶圆清洗辊，包括轴芯，轴芯为中部设有中空通道，中空通道一端封闭，一端与设有与外界连通的进液孔，轴芯的外侧设有加强筋，轴芯设有连通中空通道与轴芯外侧的出液孔，所述海绵套套接在轴芯加强筋的外侧，在轴芯的外侧设置加强筋，在将海绵...