【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆生产，特别是涉及一种晶圆清洗辊。
技术介绍
1、晶圆在抛光之后，需要清洗表面的杂质，以避免金属颗粒等对半导体器件的污染，晶圆的清洗一般采用滚刷清洗，在此时采用的滚刷包括中空轴以及中空轴外侧海绵，滚刷安装在可以旋转的滚刷固定结构上，在滚刷旋转的过程中，清洗液通过中空轴进入海绵，并从海绵表面渗出，从而完成晶圆的清洗。
2、现有技术中，为了使得中空辊内部的清洗液流动至海绵，中空辊的表面都设置有通孔，此时，中空辊的外表面为均为光滑表面，这样表面光滑的中空辊生产加工方便，但是由于通孔数量有限，这样流动到海绵位置的清洗液数量有限，会导致海绵表面清洗液不均匀，从而影响晶圆的清洁。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对现有技术中的问题，提供一种晶圆清洗辊。
2、一种晶圆清洗辊，其特征在于，包括轴芯，所述轴芯为中部设有中空通道，所述中空通道一端封闭，一端与设有与外界连通的进液孔，所述轴芯的外侧设有加强筋，所述轴芯设有连通中空通道与轴芯外侧的出液孔，还包括海绵套，所述海绵...
【技术保护点】
1.一种晶圆清洗辊，其特征在于，包括轴芯，所述轴芯为中部设有中空通道，所述中空通道一端封闭，一端与设有与外界连通的进液孔，所述轴芯的外侧设有加强筋，所述轴芯设有连通中空通道与轴芯外侧的出液孔，还包括海绵套，所述海绵套套接在轴芯加强筋的外侧。
2.根据权利要求1所述的晶圆清洗辊，其特征在于，所述加强筋包括沿轴芯轴线方向的横向加强筋，以及垂直轴芯轴线的环形加强筋，所述横向加强筋与环形加强筋相交处形成十字加强筋。
3.根据权利要求1所述的晶圆清洗辊，其特征在于，所述出液孔位于十字加强筋位置。
4.根据权利要求1所述的晶圆清洗辊，其特征在于...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗辊，其特征在于，包括轴芯，所述轴芯为中部设有中空通道，所述中空通道一端封闭，一端与设有与外界连通的进液孔，所述轴芯的外侧设有加强筋，所述轴芯设有连通中空通道与轴芯外侧的出液孔，还包括海绵套，所述海绵套套接在轴芯加强筋的外侧。
2.根据权利要求1所述的晶圆清洗辊，其特征在于，所述加强筋包括沿轴芯轴线方向的横向加强筋，以及垂直轴芯轴线的环形加强筋，所述横向加强筋与环形加强筋相交处形成十字加强筋。
3.根据权利要求1所述的晶圆清洗辊，其特征在于，所述出液孔位于十字加强筋位置。
4.根据权利要求1所述的晶圆清洗辊，其特征在于，所述轴芯同一截面位置均匀设有4个出液孔，所述轴芯外侧设有4n条横向加强筋，所述出液孔相邻设置或间...
【专利技术属性】
技术研发人员：章靖，
申请(专利权)人：瑞鑫泰精密部件惠州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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