日电阿尼尔瓦株式会社专利技术

日电阿尼尔瓦株式会社共有1项专利

  • 在一种真空化学反应设备中,许多挂片座是从一挂片架径向地伸展出来的.大量的基片安置在各个挂片座的几乎整个表面上.每一个挂片座的形状,从正视图上看是一多边形.
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