本发明提供一种触控面板检查装置，其特征在于，包括：第一信号供给机构，供给用于实施成为检查对象的ｘ轴配线的导通检查的交流信号；第二信号供给机构，供给用于实施成为上述检查对象的ｙ轴配线的导通检查的交流信号；第三信号供给机构，供给用于实施成为...

提供一种基板检查用夹具，能够降低触杆与连接电极部的接触电阻值，同时具有稳定的接触电阻值而与使用次数无关。为检查受检基板的电气特性而实现基板检查装置主体与设置在受检基板的布线图形上的多个基板受检点之间的电气导通，该基板检查用夹具具有触杆群...

基板检查装置及基板检查方法。本发明的课题是提供可以对被检查基板施加温度应力并缩短检查时间的基板检查装置以及基板检查方法。作为解决手段，具有：冷却保持部（２２），其具有对被检查基板（８）进行冷却的冷却盘（２２１）；加热保持部（２４），其具...

本发明提供一种基板检查装置，能够针对多个基板并行地实施短路检查，从而减少短路的检查次数，缩短检查时间。检查多个被检查基板的电特性的基板检查装置具有多个基板检查用夹具，它们具有多个设定在被检查基板的布线图案上的检查用探针，根据多个被检查基...

本发明提供一种能够进行检查而不会使邻接的布线图形间疑似短路的疑似短路部烧损的基板检查装置，其通过使被检查基板（１１）上的检查点（１２ａ、１２ｂ）间产生电位差并从检查点取出检查用信号，检查检查点间的布线图形（１３）的电特性。该基板检查装置...

本发明提供一种可更准确地检查电路基板的火花的绝缘检查装置和绝缘检查方法。绝缘检查装置（１）进行形成有多个布线图形（Ｐ）的电路基板（１０）的绝缘检查，具有：选择单元（２），其从所述多个布线图形中选择一个布线图形作为第一检查部（图２的Ｔ１）...

本发明提供一种用于检查作为检查对象的被检查基板的电气特性的基板检查用夹具和检查用探头。基板检查用夹具（１）由以下部分构成，即：检查用探头（２），其第一端部（２３）与作为检查对象的被检查基板（１００）的规定检查位置（１０１）以导电方式接触...

本发明提供一种吸附工作台，并提供一种吸振装置，其吸收各种各样频率的振动，防止振动传递到检查基板等板状部件上。吸振装置是板状装置，其与真空抽吸单元连接，并应用于保持成为载置对象的被载置部件的吸附工作台中。该吸振装置在一方侧载置被载置部件，...