本发明提供一种气化器，在即使减少随半导体制造（后简称：ＣＶＤ）原料一同供给的载气供给量，或者在提高溶解在溶剂中的固体ＣＶＤ原料浓度来进行气化供给的情况下，也能够防止固体ＣＶＤ原料析出附着在气化室喷出口周围，并可长时间稳定ＣＶＤ原料，以期...

本发明提供用旋转喷涂法、喷雾沉积法或ＣＶＤ法在各种基板的表面形成高质量、高纯度的含有锂的绝缘膜或者含有硅酸锂的绝缘膜的绝缘膜成膜用原料及使用该原料的成膜方法。本发明的绝缘膜成膜用原料由锂的烷氧基化合物和、从醚、酮、酯、醇或烃选出的１种以...

本发明提供一种含有金属化合物的气体的检测剂及检测方法，可以不受伴随气体氨等的影响，高灵敏度且容易地检测出从半导体制造工序中排出的气体中含有的金属化合物。该检测剂在载体上作为变色成分载持有吡啶基偶氮化合物。另外，通过将含有金属化合物的气体...

本发明涉及一种有害气体的净化装置。其提供一种净化装置，该净化装置可在不采用大型或复杂的结构的情况下，针对从半导体制造步骤排出的有害气体，抑制处理对象有害气体的分解率的降低，以及分解室壁面的粉状物的堆积，长时间地，安全稳定地对该有害气体进...

本发明提供使用ＣＶＤ法安全地在各种基板表面形成具有高品质的结晶的氧化锌膜的成膜方法。本发明的方法是将二甲基锌或二乙基锌溶解到有机溶剂中的原料气化，供应到ＣＶＤ装置中，同时将含有氧化剂气体的气体供应到ＣＶＤ装置，在基板表面形成氧化锌膜。或...

本发明提供一种气相生长装置，其中，即使在采用氮化镓系化合物半导体这样的在高温下腐蚀性高的气体进行气相生长反应的情况下，也不会对半导体膜的品质造成不利影响，可抑制加热器的断线等，可形成长期稳定的膜。一种气相生长装置，该气相生长装置包括用于...

本发明提供了作为光学晶体、非线性晶体或磁光学晶体的原料使用的含氧金属化合物粉末的制造机构，可以以较低的生产成本容易地大批量生产微细的含氧金属化合物粉末。本发明的含氧金属化合物粉末的制造设备配备有：液体流量控制器、气化器、以及反应器，该反...

本发明提供不使用耐腐蚀性的制造设备和用于回收有机溶剂的设备等，需要时能够容易地制造大量氯化铜（Ⅰ）的机构；使用其有效地大量吸附一氧化碳气体、乙烯气体、乙炔气体的吸附机构；以及能够有效地从上述吸附剂中脱附一氧化碳气体并容易地将其回收的回收...

氨的精制方法，其特征是将粗氨与精制剂接触，除去含在该粗氨的杂质，上述精制剂作为有效成份含有氧化锰和从氧化钒、氧化铬、氧化锡、氧化锆、氧化铋、氧化铌及氧化钽选出的１种以上的金属氧化物，锰原子数对于该有效成份全体的金属原子数的比例是８０～９...

一种惰性气体的精制方法，其特征是将惰性气体与精制剂接触，除去含在该惰性气体中的氧、二氧化碳及水选出的１种以上的杂质，上述精制剂作为有效成分含有氧化锰和从氧化钒、氧化铬、氧化铁、氧化锡、氧化锆、氧化铋、氧化铌及氧化钽选出的１种以上的金属氧...

本发明涉及一种不活泼气体的处理方法和精制方法以及气体处理筒，能够从含有甲烷等烃类难除杂质的不活泼气体中高效容易地除去上述杂质，并且除去能力高。使含烃类的不活泼气体在加热的条件下与含金属镍和／或氧化镍的处理剂接触，从该不活泼气体中除去烃类...

本发明提供一种发热袋，该发热袋呈扁平状，其中，与空气中的氧接触而发热的发热组成物接纳于通气性的袋中，使输液等液体流通的管的一部分蜿蜒，从侧面对该蜿蜒部分加热，可有效地将液体加热到规定温度。该发热袋，（１）在扁平状的发热袋的周边部设有贯通...

本发明涉及氟碳的分解处理剂及分解处理方法。将从半导体制造工序等中排出的废气中所含有的ＣＦ＃－［４］等的氟碳，在１０００℃以下比较低的温度９９．９％以上的分解率可分解处理的分解处理剂及分解处理方法，短时间内分解处理剂不会失活，且氟化氢等的...

有害气体的净化方法，其特征是将作为有害成分含有由三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、三乙基铟、三甲基铝及三乙基铝选出的至少１种的有害气体与净化剂接触，从该有害气体除去该有害成分，上述净化剂是在以氧化铜（Ⅱ）及氧化锰（Ⅳ）作为主成分的金属氧化物...

提供一种气体处理方法和处理装置，该处理方法不使用大型的处理装置或具有复杂结构的处理装置，能容易地以优良的处理能力和除去率除去空气等气体中含有的氮氧化物，一旦吸附的氮氧化物也不会非人工地脱附。对于空气等处理对象气体，通过与水吸附剂接触除去...

本发明的课题在于针对从半导体制造工序排出的包含卤素类气体的排气的净化处理，提供不频繁地将净化剂更新、即使对包含反应性较高的气体的干燥排气进行处理的情况下仍没有火灾的危险性、可容易使处理后的气体中的卤素类气体浓度降低的处理方法和处理装置。...

本发明涉及一种气体的处理方法。提供一种采用含镍催化剂除去氢气、氨气、不活泼气体等原料气体中所含杂质的气体处理方法，该方法降低了该含镍催化剂急剧发热的危险性，并且维持含镍催化剂除去原料气体中杂质的能力。对以金属原子数比率计，全部镍中４０～...

本发明涉及一种伸缩性发热片及其制造方法以及发热片袋。本发明的课题在于提供一种通过与氧的反应，即使在发热组合物硬化的情况下，仍不失去伸缩性，可按照与肘、膝等的弯曲部贴合的方式使用，另外，可以高效率容易制造的伸缩性发热片和将其密封的发热片袋...

本发明涉及一种发热体和发热体的制造方法。本发明的课题在于提供一种发热体，其采用与空气中的氧接触而发热的发热组合物，可容易而正确地控制发热温度。该发热体为：（１）发热组合物接纳于照射激光而形成通气孔的通气性包装件用于单面或两面的扁平状的通...