本技术的利用离子注入的原材料表面改质装置包括：真空腔部，其形成有内部空间且在内部空间具备用于搁置原材料的工位；第一离子注入部，其安装于真空腔部的上部且生成等离子体，并对等离子体施加电压而将第一离子束朝向原材料发散；第二离子注入部，其安装...