利用离子注入的原材料表面改质装置制造方法及图纸

本技术的利用离子注入的原材料表面改质装置包括：真空腔部，其形成有内部空间且在内部空间具备用于搁置原材料的工位；第一离子注入部，其安装于真空腔部的上部且生成等离子体，并对等离子体施加电压而将第一离子束朝向原材料发散；第二离子注入部，其安装于真空腔部的上部且生成等离子体，并对等离子体施加电压而将第二离子束朝向原材料发散；以及控制部，其驱动控制第一离子注入部和第二离子注入部，以使第一离子束和第二离子束一起发散或仅使第一离子束和第二离子束中的一个离子束发散而向原材料的表面注入离子，从而形成包括导电层的复合化合物层，第一离子注入部和第二离子注入部在真空腔部的上部隔开并分别安装于相互点对称的位置。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种利用离子注入的原材料表面改质装置(material surfacereforming apparatus using ion implantation)，更详细地讲，涉及一种利用于对原材料表面进行改质的利用离子注入的原材料表面改质装置，其在作为表面改质对象的原材料的表面注入离子以形成复合化合物层，从而诸如提高导电性以防止产生静电，或者防止表面变色或黄变，或者形成改善了表面固化度和疏水性的玻璃膜涂层，或者保持透明度或原色。

技术介绍

1、作为现有的提高原材料表面的特性的方法，存在变更原材料成分或改善原材料成型方法或热处理、涂装、涂覆以及沉积等各种方法。目前使用最多的方法是涂覆方法，但这种涂覆方法存在“最终尺寸变形”或“剥离”之类的局限性。

2、为了解决这些问题，作为本申请人的以往专利权，在韩国专利第10-2063013号(2019年12月30日授权)中公开了一种“半导体工序用高分子材料的表面电导率提高方法”，该方法包括：颗粒产生部利用溅射工序、高温加热工序以及电弧产生工序中的任何一种工序而从金属源物质分离金属颗粒的步骤；离子产生部使热电子碰撞上述金属颗粒或利用微波从上述金属颗粒分离电子的步骤；等离子体产生部加热上述电子和上述电子从上述金属颗粒分离而带有正电荷的离子以产生等离子体的步骤；将半导体工序用高分子材料向真空腔部110内输送的步骤；将上述半导体工序用高分子材料配置于上述真空腔部110内的支撑部的步骤；离子束引出部对上述等离子体施加电压而加速离子并将加速的离子注入输送至上述真空腔部110内的上述半导体工序用高分子材料的表面的步骤；将注入有离子的上述半导体工序用高分子材料向上述真空腔部110外部排出的步骤；利用表面电阻计测仪测定注入有离子的上述半导体工序用高分子材料的表面电阻的步骤；若测定的表面电阻小于既已设定的表面电阻则将注入有离子的上述半导体工序用高分子材料输送至阻隔墙制造装置的步骤；以及上述阻隔墙制造装置利用注入有离子的上述半导体工序用高分子材料制造包裹为了在半导体基板上涂布化学药品而利用的旋转体的周边的阻隔墙的步骤。

3、但是，该专利文件中，只具备一个注入离子的离子源(离子注入装置)，因而对原材料的表面总是只能以相同的图案进行改质，且离子量只集中于中央部，因而存在进行不了整体上均匀的改质的问题。

4、另外，过去对于有必要采用多种离子源的情况完全没有问题意识，实际情况是，目前尚无对于采用多种离子源的情况下发生的技术问题、防止照射离子束时发生的变色的照射量控制、照射时控制原材料的表面温度的技术或装置等的技术以及对于如装置或玻璃膜涂层那样的应用。本申请人着眼于此做出了下述的技术。

技术实现思路

1、所要解决的问题

2、本技术是为了解决上述的问题而研究出的，本技术的目的在于提供一种利用离子注入的原材料表面改质装置，该装置利用第一离子注入部和第二离子注入部而能够向原材料的表面注入离子，因而能够根据原材料的用途以多种图案对表面进行改质，且能够将离子量集中的部位分成两部分，因而能够实现整体上均匀的改质。

3、本技术的另一个目的在于提供一种能够对原材料表面进行改质的利用离子注入的原材料表面改质装置，该装置能够调节对原材料的离子注入深度，并向原材料的表面注入离子以形成复合化合物层，从而提高导电性以防止产生静电，或者防止表面变色或黄变，或者形成改善了表面固化度和疏水性的玻璃膜涂层，或者保持透明度或原色。

4、解决问题的方案

5、旨在达到上述目的的根据本技术的利用离子注入的原材料表面改质装置包括：真空腔部110，其形成有选择性地保持真空的内部空间s1，且在上述内部空间s1具备用于搁置作为表面改质对象的原材料10的工位(station)111；第一离子注入部120，其安装于上述真空腔部110的上部，且生成由离子化的气体颗粒或金属颗粒组成的等离子体，并对生成的等离子体施加电压而将第一离子束朝向搁置于工位111的原材料10发散；第二离子注入部130，其安装于上述真空腔部110的上部，且生成由离子化的气体颗粒或金属颗粒组成的等离子体，并对生成的等离子体施加电压而将第二离子束朝向搁置于工位111的原材料10发散；以及控制部140，其驱动控制第一离子注入部120和第二离子注入部130，以使上述第一离子束和第二离子束一起发散或仅使第一离子束和第二离子束中的一个离子束发散而向原材料10的表面注入离子，从而形成包括导电层的复合化合物层，上述第一离子注入部120和第二离子注入部130在真空腔部110的上部隔开并分别安装于相互点对称的位置。

6、这里，上述真空腔部110可以在一侧具备进行开闭动作的入口门113，且在另一侧具备进行开闭动作的出口门114，并进一步包括：供给腔150，其形成有气密的内部空间s2并在一侧具备进行开闭动作的供给门151且配置于上述真空腔部110的一侧位置，而且另一侧通过上述入口门113与真空腔部110的内部空间s1连接；以及排出腔160，其形成有气密的内部空间s3并配置于上述真空腔部110的另一侧位置且一侧通过上述出口门114与真空腔部110的内部空间s1连接，而且在另一侧具备进行开闭动作的排出门161。

7、另外，可以进一步包括原材料输送部170，其包括：第一输送机171，其配置于上述供给腔150的内部而将穿过供给门151输送的表面改质之前状态的原材料10向入口门113侧输送；第二输送机172，其配置于上述真空腔部110的内部而将穿过入口门113输送的原材料10向工位111侧输送；第三输送机173，其配置于上述真空腔部110的内部而将表面改质之后状态的原材料10向出口门114侧输送；以及第四输送机174，其配置于上述排出腔160的内部而将穿过出口门114输送的原材料10向排出门161侧输送。

8、另外，上述原材料输送部170可以进一步包括将从外部供给的原材料10向供给腔150的供给门151侧输送的第五输送机175以及将穿过上述排出门161输送的原材料10向外部输送的第六输送机176。

9、另外，上述控制部140可以分别驱动控制上述供给门151、入口门113、出口门114、排出门161、第一输送机171、第二输送机172、第三输送机173以及第四输送机174，并进行驱动控制如下：在上述真空腔部110的入口门113关闭的状态下敞开供给腔150的供给门151而将原材料10由第一输送机171向入口门113侧输送；在上述供给腔150的供给门151关闭的状态下敞开真空腔部110的入口门113而将原材料10由第二输送机172向工位111侧输送；在上述真空腔部110的入口门113和排出腔160的排出门161各自关闭的状态下敞开真空腔部110的出口门114而将已由第三输送机173输送至出口门114侧的原材料10由第四输送机174向排出门161侧输送。

10、另外，上述真空腔部110可以进一步包括调节内部空间s1的压力的第一压力调节部115，上述供给腔150可以包本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种利用离子注入的原材料表面改质装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的利用离子注入的原材料表面改质装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的利用离子注入的原材料表面改质装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的利用离子注入的原材料表面改质装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的利用离子注入的原材料表面改质装置，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的利用离子注入的原材料表面改质装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的利用离子注入的原材料表面改质装置，其特征在于，

8.根据权利要求5所述的利用离子注入的原材料表面改质装置，其特征在于，

9.根据权利要求5所述的利用离子注入的原材料表面改质装置，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种利用离子注入的原材料表面改质装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的利用离子注入的原材料表面改质装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的利用离子注入的原材料表面改质装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的利用离子注入的原材料表面改质装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的利用离子注入的原...

【专利技术属性】
技术研发人员：金明珍，吉栽根，金汎锡，
申请(专利权)人：惹德丕恩，
类型：新型
国别省市：