本发明提供一种传动装置，包括基座、传动轴、磁流体模块、气体阻隔模块以及水冷式冷却系统。传动轴枢设于基座。磁流体模块套设于传动轴且设置于基座内。气体阻隔模块套设于传动轴且设置于基座内。水冷式冷却系统设置于基座。在基座界定真空侧以及相对真空...

本实用新型提供一种辅助阳极与溅镀设备，其中的辅助阳极包括背板、一对磁铁、遮罩、气体管路以及冷却管路。背板具有相对的一内面与一外面，磁铁则是以两列分别设置于背板的内面。遮罩设置于背板的内面，以遮蔽并包覆上述磁铁，其中遮罩具有朝厚度方向贯通...

本实用新型公开一种光源系统，包括发光装置、第一镜头以及第二镜头。发光装置适于提供光束。第一镜头设置于光束的传递路径上。第二镜头设置于光束的传递路径上。第一镜头位在发光装置与第二镜头之间，其中光束经第一镜头沿第一方向传递，光束经第二镜头的...

本发明公开一种用于镭射剥离处理的晶圆结构，其包含一载板、一剥离层、一接合层与一半导体晶圆。并将剥离层设置于载板的其中一面。接合层设置于剥离层的其中一面且远离载板。半导体晶圆设置于该接合层的其中一面且远离剥离层。其中在该载板上方接收波长介...

本发明公开一种薄化基板的贴合制程方法及其结构，其包含下列步骤：清洗与干燥一薄化基板与一支撑基板；涂布一贴合材料于支撑基板上；将具有贴合材料的支撑基板加热固化；将支撑基板与薄化基板相互贴合，以形成一薄化基板的贴合结构。

本实用新型公开一种有机发光二极管结构，在一基板的一第一面依顺序堆叠有至少一第一氧化物层及至少一第二氧化物层。并在基板的一第二面依顺序堆叠有至少一第一氧化物层、至少一第二氧化物层、一透明传导层及一有机发光层。以此基板的二面分别镀上有多层的...

本实用新型公开一种用于清洗晶圆的盘式载具。盘式载具包括一清洗槽及一环绕在清洗槽周围的环形槽。并于清洗槽与环形槽之间设置有一排放槽。清洗槽与排放槽之间连接有至少一第一流道，环形槽与排放槽之间连接有至少一第二流道。当贴附有胶膜的晶圆置于盘式...

本实用新型公开一种承载治具，用以供一板件装设于其上。承载治具包括一托架，且托架开设有一通孔，并在通孔的二顶端角处分别设置有一压制件，另在通孔的二底端角处分别设置有一承载件。藉由二压制件抵压在板件的二顶端角的端面，以及二承载件承载在板件的...