【技术实现步骤摘要】
传动装置
[0001]本专利技术涉及一种传动装置，且尤其涉及一种应用于高速旋转的真空镀膜设备的传动装置。
技术介绍
[0002]在现有的高速旋转的真空镀膜设备的传动装置中，主要是利用磁流体模块作为阻隔真空与大气的主要屏障。磁流体模块是以设置有凹槽的导磁件搭配磁性件，并在凹槽处填充磁流液，使得磁流液能够形成阻隔真空与大气的屏障，藉此形成气密。
[0003]然而，现有的高速旋转的真空镀膜设备的实际工作温度常会超过磁流液所能承受的温度，致使磁流液的黏滞系数变高、流动性下降，磁流液中的基油容易挥发掉从而失去气体阻隔效果，造成高速旋转的真空镀膜设备所要求的真空条件恶化，并污染高速旋转的真空镀膜设备的相关产品与部件。当高速旋转的真空镀膜设备的实际工作温度过高，还会影响到磁流体模块的磁力强度。
[0004]此外，高速旋转的真空镀膜设备的一般保养或维修时常需反复从高真空环境与大气间互相频繁操作，高速旋转的真空镀膜设备单以磁流体模块作为大气气体进入真空侧的阻隔，在磁流体模块的构造及实用性上造成相当困扰，并因磁流体模块中的磁流液...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种传动装置，其特征在于，包括：基座；传动轴，枢设于所述基座；磁流体模块，套设于所述传动轴，且设置于所述基座内；气体阻隔模块，套设于所述传动轴，且设置于所述基座内；以及水冷式冷却系统，设置于所述基座，其中，在所述基座界定真空侧以及相对所述真空侧的大气侧，其中所述磁流体模块位于所述真空侧及所述气体阻隔模块之间，其中所述气体阻隔模块位于所述大气侧及所述磁流体模块之间以阻隔来自于所述大气侧的气体往所述磁流体模块的方向移动，其中所述水冷式冷却系统用以将所述传动装置的热导出所述传动装置外。2.根据权利要求1所述的传动装置，其特征在于，所述基座包括：本体；以及腔室，设置于所述本体内，其中所述传动轴穿过所述腔室，其中所述磁流体模块及所述气体阻隔模块位于所述腔室内，其中所述水冷式冷却系统设置于所述本体。3.根据权利要求2所述的传动装置，其特征在于，所述腔室包括依序连接的第一空间、第二空间、第三空间以及第四空间，所述第一空间相对靠近所述真空侧，且所述第四空间相对靠近所述大气侧，其中所述传动轴包括依序连接的第一轴部、第二轴部、第三轴部以及第四轴部，其中所述磁流体模块套设于所述第一轴部外，且所述磁流体模块及所述第一轴部位于所述第一空间内，其中所述第二轴部位于所述第二空间内，其中所述气体阻隔模块套设于所述第三轴部外，且所述气体阻隔模块及所述第三轴部位于所述第三空间内，其中所述第四轴部位于所述第四空间内。4.根据权利要求3所述的传动装置，其特征在于，所述传动轴还包括连接所述第一轴部的第一固定盖、连接所述第一固定盖的第五轴部以及连接所述第四轴部的第六轴部，且所述第一固定盖位于所述第一轴部及所述第五轴部之间，其中所述基座还包括：第一轴承，套设于所述第二轴部，其中所述第一轴承及所述第二轴部位于所述第二空间内；第二轴承，套设于所述第四轴部，其中所述第二轴承及所述第四轴部位于所述第四空间内；第二固定盖，固定于所述本体，套设于所述第一轴部，且抵靠于...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈朝钟，林承贤，许建志，
申请(专利权)人：勤友光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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