The utility model discloses a light source system, which comprises a light emitting device, a first lens and a second lens. Luminescent devices are suitable for providing light beams. The first lens is set on the transmission path of the beam. The second lens is set on the transmission path of the beam. The first lens position is between the light emitting device and the second lens, in which the beam passes through the first lens in the first direction and the beam passes through the reflection of the second lens in the second direction. The first direction is different from the second. Therefore, large area irradiation can be carried out without additional flat field lens group, and the volume of equipment can be reduced.
【技术实现步骤摘要】
光源系统
本技术涉及一种光学系统，且特别涉及一种光源系统
技术介绍
在目前制作半导体元件的技术中，由于半导体元件的尺寸逐渐变小，因此在制作过程中常使用暂时性接合工艺，将半导体元件透过黏着层接合至暂时衬底以方便半导体元件的制作。当半导体元件制作完成时，则对黏着层照射激光以进行半导体元件与暂时衬底的分离工艺。一般而言，提供激光的装置必须配置平场透镜组(F-Thetalenses)以使激光可顺利照射至半导体元件处的平面上。然而，这将使得提供激光的装置体积无法缩小。若需要照射大面积的样品，则将使得装置体积过于庞大。除此之外，在尺寸较小的半导体元件中，目前激光装置的应用范围也越来越受尺寸因素限制，例如是尺寸较小的半导体元件容易有翘曲的问题。因此，如何设计出可不需配置平场透镜组以减少体积，且同时可避免半导体元件翘曲而降低精准度的光源装置，是本领域技术人员致力于研究的。
技术实现思路
本技术提供一种光源系统，可进行大面积照射而不需额外配置平场透镜组，且能减少设备体积。本技术的光源系统包括发光装置、第一镜头以及第二镜头。发光装置适于提供光束。第一镜头设置于光束的传递路径上。第二镜头设置于...
【技术保护点】
1.一种光源系统，其特征在于，包括：发光装置，适于提供光束；第一镜头，设置于所述光束的传递路径上；以及第二镜头，设置于所述光束的传递路径上，所述第一镜头位在所述发光装置与所述第二镜头之间，其中所述光束经所述第一镜头沿第一方向传递，所述光束经所述第二镜头的反射而沿第二方向传递，所述第一方向不同于所述第二方向。
【技术特征摘要】
2018.08.28 TW 1072117101.一种光源系统，其特征在于，包括：发光装置，适于提供光束；第一镜头，设置于所述光束的传递路径上；以及第二镜头，设置于所述光束的传递路径上，所述第一镜头位在所述发光装置与所述第二镜头之间，其中所述光束经所述第一镜头沿第一方向传递，所述光束经所述第二镜头的反射而沿第二方向传递，所述第一方向不同于所述第二方向。2.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述第一方向垂直于所述第二方向。3.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述发光装置为激光装置。4.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述光束经所述第二镜头反射至投影空间。5.根据权利要求4所述的光源系统，其特征在于，所述第一镜头调整所述光束在所述投影空间中水平方向的焦点位置。6.根据权利要求4所述的光源系统，其特征在于，所述第二镜头调整所述光束在所述投影空间中垂直方向的焦点位置。7.根据权利要求4所述的光源系统，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈朝钟，彭政伟，沈信民，
申请(专利权)人：勤友光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71
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