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文档序号:32351231
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本发明提供一种传动装置,包括基座、传动轴、磁流体模块、气体阻隔模块以及水冷式冷却系统。传动轴枢设于基座。磁流体模块套设于传动轴且设置于基座内。气体阻隔模块套设于传动轴且设置于基座内。水冷式冷却系统设置于基座。在基座界定真空侧以及相对真空侧的...
该专利属于勤友光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过勤友光电股份有限公司授权不得商用。
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