本实用新型公开了一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀，包括阀座、阀头、内部接管、调节柄、加热器以及温度控制器等；阀座内部设有一个气流通道，气流通道上设有一个形状与阀头相吻合的缺口，阀头的内部预留一个由上至下的中间通道；内部接管与中...

本实用新型涉及一种适用于黑匣子的镀膜防护工艺设备，包括工件架、真空除气及活化室、预处理室、沉积室等；除尘后的黑匣子组件放置在工件架上，传送辊道带动工件架定向移动；真空除气及活化室用于对黑匣子组件进行等离子清洗和表面活化处理；预处理室用于...

本实用新型涉及一种采用半开式沉积罩的聚对二甲苯真空镀膜装置，包括密封胶圈、真空法兰、半开式沉积罩、流向约束器、真空计、蒸发炉、物料盒、柔性波纹管弯头、裂解炉、放气阀、柔性波纹管、移动机柜、低温冷阱、控制系统和真空泵，其中半开式沉积罩、真...

本发明涉及一种新型的Parylene真空镀膜装置，包括一体化蒸发裂解室、内置裂解加热器、蒸发区温控器、裂解区保护温控器、镀膜室、低温冷阱系统、真空系统和测控系统等，其中一体化蒸发裂解室分为蒸发区和裂解区，蒸发区和裂解区的外部分别设有蒸发...