一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀，包括阀座、阀头、内部接管、调节柄、加热器以及温度控制器等；阀座内部设有一个气流通道，气流通道上设有一个形状与阀头相吻合的缺口，阀头的内部预留一个由上至下的中间通道；内部接管与中间通道对准后底端与阀头固定连接，内部接管的顶端与调节柄的底端固定连接，调节柄与阀壳顶部的穿出孔上下滑动配合；加热器位于中间通道和内部接管的内部，加热器的接线穿过调节柄的中心孔后与温度控制器连接。本实用新型专利技术采用内置加热器，使加热效率得到了提高，同时整个阀门的受热也更加均匀充分，有效避免了聚对二甲苯对阀门内部的污染，提高了聚对二甲苯真空镀膜设备的稳定性和易维护性。和易维护性。和易维护性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀


[0001]本技术属于真空镀膜
，具体涉及到一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀。

技术介绍

[0002]流量调节阀是通过改变节流截面或节流长度以控制流体流量的阀门，同时也可对气体进行节流控制和管路关闭控制。在进行聚对二甲苯真空镀膜时，流量调节阀安装在与真空室相连接的管道上，通过流量调节阀能够控制容器和工艺管道内部的真空状态，从而能够提高镀膜产品的膜层品质。聚对二甲苯真空镀膜是通过真空气相沉积方法制备膜层，在镀膜过程中，聚对二甲苯小分子在常温下会沉积在流量调节阀内部，经过长时间积累会造成阀门堵塞，影响流量调节效果，并且很难进行清理。
[0003]传统方法是通过对流量调节阀的阀芯进行人工物理清除，或者增加外部加热装置给阀门加热至一定温度，减少材料在阀门中的沉积污染。但是人工物理清除非常容易造成阀门损毁，而外加热方法对阀门关键部位加热不够充分，仍然会有少量的材料沉积，同时加热装置的安装和拆卸也非常麻烦，不利于真空镀膜设备的长期使用。

技术实现思路

[0004]为了解决目前聚对二甲苯真空镀膜设备中流量调节阀的堵塞问题，本技术提出一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀，该流量调节阀采用阀芯内置加热器的流量调节阀结构，通过加热器对阀头和内部接管直接加热，使加热效率更高且直接可控，此外结构设计也相对简单，方便安装与拆卸，同时节省了零件成本。
[0005]本技术解决技术问题所采用的技术方案如下：
[0006]一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀，包括阀座、阀头、进口法兰、出口法兰、内部接管、波纹管、调节柄、阀壳、第一密封胶圈、第二密封胶圈、第三密封胶圈、加热器以及温度控制器；
[0007]阀座内部设有一个气流通道，气流通道的一端连接进口法兰，另一端连接出口法兰，并且气流通道上设有一个形状与阀头相吻合的缺口，阀头上安装有用于在闭合状态下与缺口侧壁密封的第一密封胶圈和第三密封胶圈，阀头的内部预留一个由上至下的中间通道；
[0008]内部接管与中间通道对准后底端与阀头固定连接，内部接管的顶端通过上法兰与调节柄的底端固定连接，调节柄与阀壳顶部的穿出孔上下滑动配合；
[0009]套设在内部接管外的波纹管一端与上法兰固定连接，另一端通过下法兰与阀座固定连接，并且下法兰与阀座之间设有第二密封胶圈，波纹管的口径大于阀头的最大直径；
[0010]加热器位于阀头的中间通道和内部接管的内部，加热器的接线穿过调节柄的中心孔后与温度控制器连接。
[0011]本技术具有以下有益效果：
[0012](1)本技术采用内置加热器，使加热效率得到了提高，同时整个阀门的受热也更加均匀充分，有效避免了聚对二甲苯对阀门内部的污染；
[0013](2)本技术结构设计简单，没有复杂的配合机构，便于加工、装配与维修；
[0014](3)本技术采用柔性波纹管连接结构，既起到了密封作用，也能够满足阀头的移动距离；
[0015](4)本技术应用于聚对二甲苯真空镀膜设备，解决了流量调节阀由于聚堆二甲苯小分子污染造成堵塞和失灵的问题，提高了聚对二甲苯真空镀膜设备的稳定性和易维护性。
附图说明
[0016]图1为本技术所述的一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀的结构示意图；
[0017]附图标记说明：1、阀座；2、阀头；3、进口法兰；4、出口法兰；5、内部接管；6、波纹管；7、调节柄；8、阀壳；9、第一密封胶圈；10、第二密封胶圈；11、第三密封胶圈；12、加热器。
具体实施方式
[0018]下面结合附图和实施例对本技术做进一步详细说明。
[0019]本技术提出一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀，如图1所示，该流量调节阀包括阀座1、阀头2、进口法兰3、出口法兰4、内部接管5、波纹管6、调节柄7、阀壳8、第一密封胶圈9、第二密封胶圈10、第三密封胶圈11、加热器12以及温度控制器，其中加热器12的接线与温度控制器连接，温度控制器能够准确控制加热器12的加热温度。
[0020]阀座1内部设有一个气流通道，气流通道的一端连接进口法兰3，另一端连接出口法兰4，并且气流通道上设有一个缺口，缺口的形状与阀头2的形状相吻合，通过上下移动阀头2可以改变节流截面，从而调节气体流量，实现从0到100％的流量调节。优选地，进口法兰3和出口法兰4均为KF法兰，方便与真空管路连接和拆卸。
[0021]阀头2的两侧加工有燕尾型密封胶圈槽或者其他形状的胶圈槽，第一密封胶圈9和第三密封胶圈11分别安装在对应的胶圈槽内，实现在闭合状态下阀头2与阀座1上的缺口侧壁之间的完全密封。阀头2的内部预留一个由上至下的中间通道，用于放置加热器12，中间通道位于阀头2的中心空间内但不与气流通道连通。
[0022]内部接管5与阀头2上的中间通道对准，并且内部接管5的底端与阀头2固定连接，内部接管5的顶端通过上法兰与调节柄7的底端固定连接，内部接管5内部放入加热器12和接线。
[0023]阀壳8位于整个调节阀的最外侧，对阀体起到保护作用，阀壳8的顶部有供调节柄7通过的穿出孔，调节柄7与穿出孔上下滑动配合，通过上下推拉调节柄7调节阀门的开度，实现气体流量的调节。调节柄7的长度依据阀门最大开度确定。
[0024]波纹管6套设在内部接管5的外部，波纹管6的一端与上法兰固定连接，另一端则通过下法兰与阀座1固定连接，并且阀座1上端加工有燕尾型密封胶圈槽或者其他形状的胶圈槽，第二密封胶圈10安装在胶圈槽内，实现下法兰与阀座1之间的密封。波纹管6具有密封的作用，同时具有一定的伸缩量，其伸缩量满足阀头2从全闭到全开的上下移动距离，波纹管6
的口径大于阀头1的最大直径，阀门打开状态时阀头2的一部分或者完全进入波纹管6中。
[0025]加热器12位于阀头2的中间通道和内部接管5的内部，以对阀门进行内部加热。加热器12的接线穿过调节柄7的中心孔后与温度控制器连接，可根据情况设置所需要的温度。
[0026]本技术提供了一种新型的用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀，该流量调节阀将加热装置与阀体制作成一个整体，通过温度控制器控制加热温度，避免了外部加热导致阀门表面温度过高的问题；通过调节柄的上下推拉来调节阀门的开度，调节范围大，精度控制准确；阀头、内部接管、调节柄制作成一个整体，用柔性波纹管连接和密封，其伸缩量能够满足阀门的调节范围。
[0027]以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
[0028]以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对技术专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀，其特征在于，包括阀座(1)、阀头(2)、进口法兰(3)、出口法兰(4)、内部接管(5)、波纹管(6)、调节柄(7)、阀壳(8)、第一密封胶圈(9)、第二密封胶圈(10)、第三密封胶圈(11)、加热器(12)以及温度控制器；阀座(1)内部设有一个气流通道，气流通道的一端连接进口法兰(3)，另一端连接出口法兰(4)，并且气流通道上设有一个形状与阀头(2)相吻合的缺口，阀头(2)上安装有用于在闭合状态下与缺口侧壁密封的第一密封胶圈(9)和第三密封胶圈(11)，阀头(2)的内部预留一个由上至下的中间通道；内部接管(5)与中间通道对...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志胜，王成祥，李志安，
申请(专利权)人：秦皇岛精和智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：