清华大学专利技术

清华大学共有45987项专利

  • 本发明公开了属于半导体制造设备和技术范围的一种用在半导体晶圆片激光热处理中的分区辅助加热片台和分区加热方法。在激光热处理装置中将加热片台划分为不同的加热区域,在不同的单元区域之间由隔热材料隔离,不同的加热区域下方,各自配置独立控制加热功...
  • 一种电驱动形状记忆合金丝的常闭型主动微阀,其由柔性聚合物结构层,底板,形状记忆合金丝和焊盘组成;聚合物结构层内设微流道结构,微流道结构包括:流体入口和出口;两端分别与入口和出口相通的内部流体流道;流道中部断开成中间断开结构;断开结构中间...
  • 本实用新型属于紫外线消毒设备调节系统领域,特别涉及一种紫外线剂量自动调节系统。紫外线强度在线检测仪、信号接收器、反馈系统、微控制器、设定控制器、输出信号装置组成串联的闭环回路;紫外线强度在线检测仪检测紫外线消毒设备的紫外线强度,并反馈给...
  • 本实用新型涉及一种自适应可控恒温热源,属于教学仪器领域。装置由加热体、自适应加热及恒温控制系统、温度设定测量及显示系统组成,自适应加热及恒温控制系统由加热及恒温控制电路、调整管、激励源电路、开关电源及铜线圈组成,利用电流通过铜导线的焦耳...
  • 一种机械-液压互动式无级变速器,包括输入部分、组合液压泵(31)、行星齿轮传动部分(30)、以及输出部分,它们顺序连接,输出部分包括液压马达和输出轴(1),组合液压泵(31)与液压马达通过液压回路构成一液压系统,输入部分通过行星齿轮传动...
  • 本发明公开了一种成本较低、工艺简单的合成超细晶、单分散、高纯度的纳米钛酸钡的方法。本发明采用改进的水基溶胶凝胶法,首先使用醋酸、PEG等调控钛酸四丁酯或者TiCl4水解制备分散性良好,超细的高活性TiO2前驱体,利用制得的TiO2前驱体...
  • 本发明涉及一种嵌入式系统的内存管理方法,包括步骤:(1)开辟一块物理内存,利用翻转式线程堆管理系统对其管理,线程堆管理系统从线程堆空闲内存的首尾两端为数据需求分配内存空间,线程堆空闲内存有正常态N和翻转态F;(2)将所有数据需求分为临时...
  • 本发明涉及一种用于精密计量的激光频率稳定方法及装置,其包括以下步骤:1)设置一包括法布里-珀罗干涉仪、待稳定激光器、稳频激光器、法布里-珀罗腔锁定系统和激光频率锁定系统的用于精密计量的激光频率稳定装置;2)法布里-珀罗腔锁定系统采用电光...
  • 一种铜基分子筛催化剂及其制备方法,首先配置乙酸铜和硝酸铈铵的混合液,再向混合液中加入分子筛载体ZSM-5搅拌,最后经过烘干焙烧得到铜基分子筛催化剂,所得的铜基分子筛催化剂,其分子式表示为Cu-Ce-ZSM-5,其组分为:铜占催化剂总重量...
  • 一种燃料电池恢复活性的方法,用于集中时间对燃料电池恢复时,先使燃料电池输出微电流,再使燃料电池进入大电流工况,或使燃料电池进入低电压工况,重复以上两步,直至燃料电池输出性能恢复到不再上升;用于燃料电池日常使用中时,先在怠速工况下使燃料电...
  • 本发明为核主泵动静压结合斜直线槽机械密封结构,包括旋转环和静止环,在静止环或者旋转环的密封端面上有与静止环或者旋转环径向夹角为20—70度的斜直线槽1,斜直线槽1沿静止环或者旋转环圆周方向均匀分布,斜直线槽1的槽宽H沿槽长L方向保持不变...
  • 本公开提供了一种数据处理平台,其包括查询处理模块和响应收集模块。该查询处理模块被构造为接收查询,并将该查询翻译成一些适当的用于对各种源进行查询的形式。响应收集模块被构造为根据所述经翻译的查询,从各种源收集结果,并提供结果。本公开还提供了...
  • 本实用新型涉及半导体制造设备领域,特别是涉及一种新型化学机械抛光装置。该装置的结构包括:由电机驱动旋转的抛光盘,固定于抛光盘上方的抛光液输送口,位于抛光盘上方的抛光头,以及安装于抛光头下表面具有曲线轮廓的抛光垫;待抛光的硅片安置在抛光盘...
  • 本发明公开一种基于网块的快速多层布线方法,主要是为了提高集成电路多层布线的效率而设计。本发明,首先,根据读入的布线区域内的障碍信息建立并规范障碍列表,扩展障碍列表中各障碍的边界,从而构造出三维不均匀网格阵列,并标记出布线起始点和终止点;...
  • 本实用新型涉及一种卧式汽液分离冷凝器,其特征在于:它包括一水平设置的换热单元模块,换热单元模块包括多组递减水平排列的换热管,各组换热管通过两端安装的多级联箱连通,在第一级联箱上设置一进汽口;第一级联箱通过第一组换热管与第二级联箱连通,第...
  • 本实用新型公开了一种构件刚度测试平台,其特征在于:构件的两个端点分别安装全反射镜M0、全反射镜M1,激光器发出的激光光束分别通过全反射镜M4、半反射镜M3后分别将光束反射到全反射镜M0、全反射镜M1上,光束经过全反射镜M0、全反射镜M1...
  • 本实用新型公开了传感器测控技术领域中的一种氢气瓶用电阻型温度传感器的免拆检定装置。所述装置包括电源开关,稳压电源,可调精密电阻,第一精密电阻,第二精密电阻和已标定的电阻型温度传感器;所述可调精密电阻和氢气瓶用电阻型温度传感器、已标定的电...
  • 本发明公开一种基于矩阵运算的并行计算方法,主要是为了简化并行加速程序的设计,降低实现并行算法的难度而设计。本发明将待描述算法描述为矩阵运算算式,然后,将计算任务抽象为具有某种元素类型的各矩阵之间的抽象乘法算子和/或抽象加法算子。最后,将...
  • 本发明公开一种基于图形处理器的大规模静态网络划分方法,主要是针对现有网络划分方法不适于大规模网络的划分,且划分方法效率低而设计。本发明通过定义一个网络划分结果矩阵S,将网络划分中分别求各子模块的特征向量和特征值转换成求整个网络的特征向量...
  • 一种紫外雪崩光电二极管探测器,包括蓝宝石衬底,蓝宝石衬底的侧面附着AlN缓冲层,AlN缓冲层的外侧附着p型AlxGa1-xN层,蓝宝石衬底的底部为倾斜斜面,在p型AlxGa1-xN层靠近底部的一侧面附着i-Si雪崩区层,在i-Si雪崩区...