本实用新型提供了一种新型的单晶硅预加料装置，包括：加料筒、活塞、操作柄和端盖，所述加料筒内设有内筒，所述内筒与加料筒形成用于放置原料的环状区域，所述内筒下部的筒壁设有通孔，所述活塞设置于内筒中，并且与内筒的内壁面接触，所述操作柄通过连接...

本实用新型提供了一种单晶炉侧排气装置，包括：过滤罐、真空泵和收集罐，所述真空泵设置在过滤罐的出口，所述收集罐设置在过滤罐下方，并且过滤罐相通，所述过滤罐包括过滤罐盖、内筒、滤网、毛刷和传动机构，所述过滤罐盖设置在过滤罐上，所述内筒周向均...

本实用新型提供了一种半自动单晶硅出棒车，包括：底座、支架、转盘、转轴、连接板和抓手，所述支架为两条竖直设置的立柱，所述支架固定在底座上，所述支架上设有滑轨，所述滑轨上设有滑块，所述转盘固定在所述滑块上，所述转轴转动连接在所述转盘上，所述...

本实用新型提供了一种新型单晶炉，包括：包括炉壁、石英坩埚、石墨坩埚、保温筒，所述保温筒设置在炉壁内侧，所述炉壁与保温筒之间设置侧壁碳毡，所述石英坩埚设置在炉体内部，所述石墨坩埚套装在石英坩埚外侧，所述石墨坩埚内壁底部设有一组圆环状第一凸...

本发明公开了一种单晶棒放肩装置，涉及单晶硅制造技术，用于解决现有的固定式的高频电磁场会导致熔区就会发生流垮，限制了区熔单晶的直径的问题。它包括底座、设置于底座上的反应炉、立柱，所述反应炉包括主炉室和副炉室，所述立柱设置于底座左侧，所述立...

本发明公开了一种单晶硅的加工设备，涉及单晶硅制造技术，用于解决一方面，由于熔区内存在热对流，会产生集肤效应，另一方面，杂质对硅熔体表面张力的影响很显著，微量的杂质就能引起较大的变化，由于单晶棒拉晶过程中，杂质分布不均匀，会导致熔区发生流...

本发明公开了一种单晶硅收尾设备，涉及单晶硅制造技术，用于解决现有技术采用硬性分裂的方式把熔区拉开，会导致熔区发生流垮，限制了区熔单晶的直径的问题。它包括底座、设置于底座上的反应炉、立柱，所述反应炉包括主炉室和副炉室，所述立柱设置于底座左...