本技术涉及芯片生产设备技术领域，尤其是芯片加工用可调式光学生产检测模组，包括光学生产平台，以及用于产生满足表面等离子共振要求的入射光的光学系统，还包括一输送板，在输送板上设有多个用于固定芯片基材的料夹，在光学生产平台上设有一由上板体、下...

本技术涉及芯片生产设备技术领域，尤其是一种用于芯片加工的基材批量输送装置，包括光学生产平台，在光学生产平台上设有垂直上料模组，水平送料模组，在垂直上料模组上设有一承载板，在承载板上水平设有多个导向工位槽，在各导向工位槽内均设有与导向工位...

本发明涉及芯片生产设备技术领域，尤其是基于SPR与MIT技术的高精度化学芯片批量生产设备，包括光学生产平台，在光学生产平台上设有由垂直上料模组及水平送料模组组成的用于输送芯片基材的输送机构，用于接收输送机构输送的芯片基材的生产定位机构，...