在一种用于空气压缩、冷却和净化的集成方法中，绝热压缩机（１）压缩空气流（２）以产生压缩空气流。该压缩空气流（３）用于加热第一压力下的第一加压流（３７）和第二压力下的第二加压流（３９）。所生成的流包括升温的第一加压流（７）、升温的第二加压...

根据本发明的方法，输入空气（通过１６）进入空气分离装置（１４），该输入空气的至少一部分从燃气轮机（２）供应，从分离装置（１４）中取出至少一支富含氮的气流（通过２０，２４）；在第一热交换器（５６）中、在从燃气轮机（２）流出的输入空气部分和...

本发明涉及利用蒸汽发生单元、汽轮机和海水淡化单元生产电、蒸汽和脱盐水的方法，其中：蒸汽发生单元产生蒸汽；汽轮机利用至少一部分由蒸汽发生单元产生的蒸汽，并产生电和蒸汽；海水淡化单元通过与至少一部分由汽轮机产生的蒸汽进行热交换而使海水蒸发以...

本发明涉及一种向制造工具分配多种前体的装置，该装置包括具有多个互连子歧管的流体歧管，以及多个储罐，每个储罐容纳有不同的前体，其中，每个所述子歧管连接到其中一个所述储罐上。一种向制造工具分配多种前体的系统包括具有流体歧管和多个储罐的多前体...

本发明涉及一种通式（Ⅰ）Ｓｉ↓［２］（ＮＭｅ↓［２］）↓［５］Ｙ的五（二甲基氨基）二硅烷，其中Ｙ选自Ｃｌ、Ｈ或氨基；本发明还涉及五（二甲基氨基）二硅烷的制备方法，及其用于生产ＳｉＮ或ＳｉＯＮ的门电极介电膜或防蚀刻介电膜的用途。

使用带有戊二烯基配体和／或环戊二烯基配体的前体在至少一个载体上形成含至少一种金属的介电膜的方法，该膜具有式（Ｍ↓［１－ａ］↑［１］Ｍ↓［ａ］↑［２］）Ｏ↓［ｂ］Ｎ↓［ｃ］，其中：０≤ａ＜１，０＜ｂ≤３，优选地１．５≤ｂ≤２．５，０≤ｃ≤...

本发明涉及一种含五（二甲基氨基）氯二硅烷的化合物与含氮气体和任选地含氧气体一起使用以通过ＣＶＤ淀积ＳｉＮ（和任选ＳｉＯＮ）膜的方法。

（问题）提供使用ＣＶＤ技术生产氮化硅和氧氮化硅膜的方法，其中所述方法甚至在低温下也能提供可接受的膜形成速度并且不会伴随着大量氯化铵的形成。（解决方案）使用式（Ｒ↑［０］）↓［３］－Ｓｉ－Ｓｉ－（Ｒ↑［０］）↓［３］的烃基氨基乙硅烷化合物...

用于含钌膜沉积的含钌前体，包含选自基本由下列物质组成的组的钌前体：Ｒｕ（ＸＯｐ）（ＸＣｐ）、Ｒｕ（ＸＯｐ）↓［２］、Ｒｕ（烯丙基）↓［３］、ＲｕＸ（烯丙基）↓［２］、ＲｕＸ↓［２］（烯丙基）↓［２］、Ｒｕ（ＣＯ）↓［ｘ］（脒根）↓［Ｙ］...

一种形成氧化硅薄膜的方法，包括以下步骤：在反应室内提供处理基材；在减压下在５０－４００℃的基材温度下通过向该反应室中供入惰性气体而吹扫在该反应室内的气体，在相同的温度下和在减压下，通过将气态硅化合物脉冲式引入该反应室而使硅化合物吸附在该...

制备含金属的膜的方法，其中将不含金属－Ｃ或者金属－Ｎ－Ｃ的σ键的金属源（例如，ＴａＣｌ↓［５］，ＳＥｔ↓［２］）、硅前体（例如，ＳｉＨ（ＮＭｅ↓［２］）↓［３］或（ＳｉＨ↓［３］）↓［３］Ｎ）、氮前体（例如氨）、碳源（例如单甲胺或乙烯）...

本发明涉及具有下式的含钌前体用于在基底上沉积含Ｒｕ膜的用途：（Ｒ↓［ｎ］－ｃｈｄ）Ｒｕ（ＣＯ）↓［３］其中，（Ｒ↓［ｎ］－ｃｈｄ）代表被ｎ个取代基Ｒ取代的环己二烯（ｃｈｄ）配体，任何Ｒ位于ｃｈｄ配体的任意位置上；ｎ是包括１至８的整数（１...

本发明涉及用于ＴＦＴ铜栅工艺的无电镀ＮｉＷＰ层。该ＮｉＷＰ层的沉积过程包括以下步骤：（ａ）使用例如紫外光、臭氧溶液和／或碱性混合物溶液清洗基底表面，（ｂ）使用例如稀酸微刻蚀基底表面，（ｃ）使用例如ＳｎＣｌ↓［２］和ＰｄＣｌ↓［２］溶液催...

一种利用加压冷却气体快速冷却金属部件的方法，其特征在于，该冷却气体包括一种（或若干种）吸收红外辐射的主要气体以便通过结合辐射和对流传热现象而改善热传递从而使对流传热系数最佳。

本发明涉及一种气冷淬火方法，该方法使用（ｉ）用于接收将使用淬火气体进行淬火的物体的淬火室（Ｖ１）以及（ｉｉ）设计用于容纳淬火气体的缓冲罐（Ｖ２）。本发明的特征在于，随着淬火操作，以下列方式回收容纳于室（Ｖ１）中的所有或部分气体，该方式包...

本发明涉及一种将多个高炉和多个空气分离单元结合的方法，其中，在高炉场地可用的替代鼓风机用于将压缩空气输送到一空气分离单元内，使得高炉鼓风富含氧，当所述高炉的鼓风机中的一个必须由该空气分离单元使用的鼓风机代替时，该空气分离单元停止运转。

一种用于将氧化剂、特别是氧气超音速地喷射到窑炉、特别是冲天炉中的方法，其特征在于，使用至少两个单独的回路来喷射窑炉运行所需的总的氧气：　　　　－包括至少一个超音速氧气喷射嘴的第一回路（２６）；以及　　　　－包括补充氧气喷射元件的第二回路...

本发明涉及制备冻干微生物（例如冻干的细菌）的一类方法，其中该类方法的步骤之一中用一种或多种微生物菌株接种培养基。本发明特征在于，在接种步骤之前，用包含惰性气体或还原气体，或此类惰性和还原气体混合物的处理气体处理培养基，从而得到培养基的确...

本发明涉及一种用于以受控的方式冷却具有连续或不连续流动的、包含液体和固体成分的流体团块或多相流体、例如葡萄榨取物的方法，所述流体被引入并存在于相关接收器内，设想从此团块中去除其中的至少一部分，将其从上述接收器（１）中提取出来，加以冷却，...

本发明提供了后ＣＭＰ清洗溶液，其包含至少一种含有有机酸化合物的清洗剂、至少一种能充分最小化或防止清洗溶液中微生物生长的防腐剂化合物和至少一种胺化合物。防腐剂化合物可以是另一种能保护清洗溶液中避免微生物生长的有机酸化合物。清洗溶液的ｐＨ优...