本发明公开了在一个或多个基底上沉积含钴膜的方法和组合物。将钴前体（包含至少一个与钴偶合的环戊二烯基配体以利于热稳定性）引入装有一个或多个基底的反应室中，并使该钴前体沉积，以在基底上形成含钴膜。

回收和纯化无机金属前体的方法和装置。提供包含四氧化钌的气态第一料流，并将其转化为固相低级氧化钌。用氢气还原该固相低级氧化钌以形成钌金属。将钌金属与氧化混合物接触以制备包含四氧化钌的料流，并通过蒸馏将任何残留氧化化合物从该料流中除去。

用于从半导体处理室表面清洁不希望有物质的方法和装置。预处理含有氟源和氧源的气体混合物以使其包括活性的氟物质。该预处理的混合物在气体存储装置中贮存一段时间，然后引入半导体处理室。引入预处理气体前，室中的温度降低到等于或低于标准操作温度的温...

一种净化或分离含有氢气Ｈ↓［２］和摩尔含量大于或等于１０００ｐｐｍ的一氧化碳（ＣＯ）的进料气流的方法，其中：将ａ）所述进料气流连续引入到ＰＳＡ类型的第一净化装置（１０）中，其含有第一吸附剂，ＣＯ优选在该第一吸附剂上被吸附；ｂ）回收来自步...

本发明涉及一种通过低温蒸馏至少在第一运行模式中从空气生产至少一种气体的方法，辅助涡轮机（２７）吸入已经在主交换管路（７）中冷却的空气流的气态部分，所述辅助涡轮机的吸入压力显著大于或等于平均压力，空气的成分的一部分以液态形式作为最终产品而...

本发明涉及一种使用通过空气分离生产气态氮的设备（９）和使存储容器（１）中的液态氮蒸发来提供氮的方法，其中，如果用户对气态氮的需求低于第一阈值，那么仅通过液态氮的蒸发向用户供应氮，如果用户对气态氮的需求高于第二阈值——该第二阈值大于第一阈...

在半导体制造过程中在基底上形成薄膜的方法。提供反应室和反应室中的基底。提供钌基前体，该前体包括溶于至少两种不燃性氟化溶剂混合物中的四氧化钌，并在基底上制备含钌薄膜。

本发明涉及一种利用蒸馏塔系统（５、１１）通过低温蒸馏生产一氧化碳的方法，该蒸馏塔系统供应有至少以氢和一氧化碳作为主要成分且至少有时有氮的混合物，其中将该混合物在塔系统中分离，该塔系统包括用于产生富氮流和贫氮流的脱氮塔（１１），且从该塔系...

本发明涉及一种利用蒸馏塔系统通过低温蒸馏生产一氧化碳的方法，该蒸馏塔供应有至少包括氢、一氧化碳和至少有时有氮的混合物，其中将待分离的混合物冷却到蒸馏温度，将氢从该混合物中去除，将至少包含一氧化碳和至少有时有氮的流体在脱氮塔（１１）中分离...

本发明涉及分离或净化含至少一种杂质的进料气流的方法，该方法包括周期性地：ａ）使所述进料气流与第一吸附剂接触，以通过吸附除去所述至少一种杂质；ｂ）回收所述被净化或分离的气体；ｃ）使用加热器加热至少含有氢（Ｈ↓［２］）和一氧化碳（ＣＯ）的再...

本发明涉及一种从油藏回收烃的方法，其包括将空气分离为富氮气体和富氧气体，用至少部分富氧气体氧化烃燃料以产生蒸汽和富ＣＯ↓［２］气体，通过注入井将至少部分蒸汽注入油藏以加热烃，用至少部分富氮气体吹扫注入井，并且将至少部分富ＣＯ↓［２］气体...

本发明涉及一种用于通过低温蒸馏生产一氧化碳的装置，该装置包括其中冷却并且部分地冷凝至少包含一氧化碳和氢气的混合物的交换线（７）、分相器（１１）、汽提塔（２３）、用于将来自分相器的液体送至汽提塔的线（１５）、用于从汽提塔底部取出富含一氧化...

本发明涉及一种气体的低温分离方法，所述气体的主要成分包括选自下列组的至少两种成分：氢、一氧化碳、氮和甲烷，该方法使用至少一个具有交叉波纹规整填料的蒸馏塔（Ｋ０２／Ｋ０３）和／或至少一个具有交叉波纹规整填料的吸收塔（Ｋ０１），其中至少一个...

本发明涉及稳定的双环［２．２．１］庚－２，５－二烯组合物及其制造和使用方法，所述组合物还包含至少一种添加剂，该组合物含有少于５０ｐｐｍｗ非挥发性材料。所述组合物可用于提供低－ｋ膜。

提纯或分离包含至少一种燃料的气体混合物的方法，该方法使用具有至少一个经受压力周期的吸附器的单元，该压力周期包含至少一个借助真空泵置于真空下的步骤，其中至少部分地通过所述单元外部的气体将在该周期中减压的至少一个吸附器和／或真空泵再加压，并...

本发明涉及工业炉中固体燃料燃烧的方法和系统。工业炉中的炉料通过气态易燃物的燃烧被加热，该气态易燃物由预燃烧器中固体燃料和氧化剂的预燃烧产生，所述预燃烧器收集固体燃料中的以炉渣层形式的大多数灰分。

本发明涉及一种将干冰封装在塑料膜中的方法和设备，所述设备包括：塑料膜分配和成型装置，该装置包括塑料膜（２２）在其外壁上展开的成型套筒（２０），与液体二氧化碳源（３）连接的干冰发生器（１６），该干冰发生器（１６）设置在成型套筒（２０）内以...

本发明涉及一种制备式（Ｉ）的１－烷基甘油醚的方法，其中（ａ）将式（ＩＩ）的烷基缩水甘油醚加入以下物质中：（ｘ）具有１－１０个碳原子的羧酸，（ｙ）具有１－１０个碳原子的羧酸的酯，和／或（ｚ）具有１－１０个碳原子的羧酸的酸酐，其中Ｒ是未支化...

本发明涉及一种钎焊板式换热器，其包括：一堆限定多个大致扁平的流体循环通路的平行板件、界定所述通路的封闭板条、用于向第一系列通路的每个通路分配流体的分配装置、以及用于向第二系列通路输送另一流体的装置；其中，至少一个通路包含结构化的热交换结...

本发明提供了碱性后ＣＭＰ清洗溶液，其含有：至少两种选自有机胺和／或季铵氢氧化物的碱性化合物，至少一种有机酸化合物，和能抑制原料腐蚀的抑制剂化合物。抑制剂化合物优选是巯基化合物。在一个实施方式中，清洗溶液含有至少两种有机胺，但基本不含季铵...