公开了用于在基材上的含Si层中等离子体蚀刻通道孔、栅槽、阶梯触点、电容器孔、接触孔等的含硫化合物，和使用它的等离子体蚀刻方法。等离子体蚀刻化合物可提供在含Si层与掩模材料之间改进的选择性，较少的对通道区域的损害、直垂直剖面和图案高纵横比...

一种用于吹扫工艺腔室(1)的方法，该方法至少包括以下步骤：a)将最初包含在该工艺腔室(1)内的气体的温度至少升高到第一温度，b)将处于第二温度的吹扫气体引入该工艺腔室(1)中，其中，该第一温度高于该第二温度。使用所提供的方法，可以使用比...

本发明提供了一种用于清洁载有吸收剂残留物、例如甲醇并且还载有固体颗粒、例如燃料灰尘的气体流的洗涤塔。根据本发明，借助于设置在该洗涤塔的下部区域中的散堆填料对载有吸收剂残留物和固体颗粒的气体流进行气体洗涤，并且借助于设置在该洗涤塔的上部区...

本实用新型涉及一种空分设备的加温系统，所述空分设备包括设置在第一冷箱内部的精馏系统，所述加温系统包括设置在第一冷箱外部的加温气体提供装置；加温通道线，所述加温通道线用于将加温气体导入所述精馏系统；和吹除管线，所述吹除管线用于将吹除杂质导...

本发明涉及一种电机，包括布置在壳体(10)中的定子(2)和转子(3)，该壳体包括第一面，该第一面设有肋(4，14)并且旨在与冷却流体接触，电机(1)设有封闭结构(6)，该封闭结构以密封方式紧固于壳体(10)的第一面，以便与壳体(10)的...

一种用于对工作气体进行离心压缩的装置和方法，该装置包括形成多个压缩级的多个离心压缩机(1，3)和用于驱动这些压缩机(1，3)的多个驱动马达(5，6)，该装置包括气体回路，该气体回路包括用于要压缩的气体的第一入口管线(13)，该第一入口管...

本发明涉及由轻质烃源生产氢气的方法，其中在原料的脱硫和任选的预重整之后通过甲烷蒸汽重整生成合成气。通过一氧化碳的蒸汽转化富集合成气的氢，并随后在变压吸附单元中提纯以获得纯H

一种用于工作气体的离心压缩的装置，该装置包括形成多个压缩级的多个离心压缩机(1，3)以及用于驱动这些压缩机(1，3)的多个驱动马达(5，6)；该装置包括气体回路，该气体回路包括用于将待压缩气体供应到该第一压缩机(1)中的第一管道(16)...

本发明涉及用于为储罐加注加压气体的设备，包括液化氢源和包括连接至源的上游端和用于连接至要加注的储罐的至少一个下游端的流体转移回路，流体转移回路包括从上游至下游地串联布置的用于使来自源的流体朝向下游方向移动的构件、配置成允许在至少两个不同...

一种用于通过低温蒸馏来分离空气的方法，气体流在入口温度低于‑100℃的单轮低温膨胀涡轮机中膨胀，该气体是空气或从该塔系统传送的气体；气体在入口温度高于‑50℃的第一单轮增压压缩机(B1)中压缩，该气体是空气或从该塔系统中传送的气体；空气...

一种阀，该阀容纳回路(3)和阀闸(6，7)组，该阀闸组包括至少一个截止阀闸，该阀(1)包括机构(8，9)，该机构用于在回路(3)关闭的休止位置与回路(3)打开为具有第一孔截面(S1)的活动位置之间手动控制该阀闸(6，7)组，该控制机构(...

一种制冷装置，该制冷装置旨在通过与在工作回路(10)中循环的工作流体进行热交换而从至少一个构件(15)中提取热量，该装置包括以下串联的机构：流体压缩机构(13)，优选地等压或基本上等压流体冷却机构，流体膨胀机构(8)，以及流体加热机构(...

本发明涉及一种用于储存和分配液化氢的设备，该设备包括气态氢源、液化器、两个用于处于确定的相应储存压力下的液态氢的储器，液化器包括连接到所述源的入口和经由一组阀并联连接到每个储器的相应入口的出口，所述液化器的出口还连接到旨在可移除地连接到...

披露了一种方法，该方法包括：压缩第一氢流，并使一部分膨胀以产生氢制冷流，冷却第二氢流，从而产生凉氢流，其中制冷的至少一部分由氮制冷流提供，进一步冷却该凉氢流的至少一部分，从而产生冷氢流和暖氢制冷流，其中制冷的至少一部分由该氢制冷流提供，...

披露了一种将氢液化的方法，该方法包括将氢流分成至少第一部分和第二部分，将该第一部分引入氢液化单元的制冷循环中，从而液化产物氢流，从该氢液化单元抽取一股或多股暖的氢流，以及使该一股或多股暖的氢流返回到该氢流中，其中该第二部分与高压氮流组合...

本发明涉及一种用于执行吸热过程的炉子，该炉子包括：包含催化剂的、用于转化气态进料的多个工艺管，其中所述工艺管在该炉子内被布置成排，每排工艺管由此限定工艺管排；被布置成排的多个内燃烧器，每排内燃烧器被布置在工艺管排之间并平行于这些工艺管排...

本发明提供一种用于生产纯化并转化的合成气的一体化方法以及相应设备。该方法包括首先在合成气产生阶段将含碳输入材料转化成粗合成气，在随后的CO转化区域中对于该粗合成气的H

提供一种吸附塔装置，与以往相比，能够削减吸附塔装置的设置面积，简化设置场所的配管工程，并且即使将吸附塔堆积在阀切换装置的上部也能够降低设置成本。吸附塔装置具有阀切换装置(30)和配置于阀切换装置(30)的上方且内部填充有预定的吸附剂的至...

天然气生产设备设置有原材料供应段101，该原材料供应段用于将处于过冷状态的压缩液化天然气(LNG)通过原材料供应段101、第一热交换器1、第二热交换器2、第一蒸发器3以及第一膨胀涡轮4、接着再次通过该第二热交换器2作为原材料引入到第一蒸...

用于调节包含粒状材料A的容器的方法，所述粒状材料A能够吸附进料气流中包含的氮气，所述方法包括将气体或气体混合物G注入容器中的步骤，使得在25℃和1个大气压下，材料A对G的吸附容量小于10Ncm