工艺腔室和用于吹扫其的方法技术

一种用于吹扫工艺腔室(1)的方法，该方法至少包括以下步骤：a)将最初包含在该工艺腔室(1)内的气体的温度至少升高到第一温度，b)将处于第二温度的吹扫气体引入该工艺腔室(1)中，其中，该第一温度高于该第二温度。使用所提供的方法，可以使用比如氮气和/或氩气等吹扫气体以特别低的吹扫气体消耗和/或使用特别短的吹扫时间来吹扫工艺腔室(1)。这可以通过在吹扫之前升高最初包含在该工艺腔室(1)中的气体的温度来实现，因此降低此气体的密度。

Process chamber and method for purging

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工艺腔室和用于吹扫其的方法本专利技术涉及一种工艺腔室和一种用于吹扫其的方法。几种工艺在惰性气氛中进行以抑制不期望的化学反应。例如，在增材制造中就是这种情况。增材制造工艺涵盖多种应用。根据一些应用，通过提供前体粉末并通过局部地和选择性地熔化该粉末(例如通过激光)来制造产品。如果对多个粉末层进行此操作，则可以获得产品。期望在限定的气氛中进行该工艺。所限定的气氛可以具有特定浓度的例如氧气、氮气、氩气和/或氦气和/或可以具有特定的湿度。例如，氧气的存在，特别是在熔化过程步骤期间，可能会损害产品的质量，特别是因为粉末会氧化。为了减少或避免此影响，通常在工艺腔室内的惰性气氛中进行增材制造。对于比如钛基合金等材料，氮气的存在也可能是不利的。而且，高压釜通常在惰性气氛下操作。高压釜是一种工艺腔室，该工艺腔室以对其环境气密的方式密封并且特别用于产品的热处理和/或化学处理。可以通过使用惰性气体吹扫工艺腔室来获得工艺腔室内的惰性气氛。因此，通常将惰性气体引入工艺腔室，因此置换和替换最初包含在工艺腔室内的气体。然而，特别是由于粘附效应将氧气结合在工艺腔室的表面上，特别是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于吹扫工艺腔室(1)的方法，该方法至少包括以下步骤：/na)将最初包含在该工艺腔室(1)内的气体的温度至少升高到第一温度，/nb)将处于第二温度的吹扫气体引入该工艺腔室(1)中，其中，该第一温度高于该第二温度。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171025 EP 17198366.11.一种用于吹扫工艺腔室(1)的方法，该方法至少包括以下步骤：
a)将最初包含在该工艺腔室(1)内的气体的温度至少升高到第一温度，
b)将处于第二温度的吹扫气体引入该工艺腔室(1)中，其中，该第一温度高于该第二温度。


2.根据权利要求1所述的方法，其中，该吹扫气体是惰性气体。


3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，该第二温度低于0℃。


4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，在步骤a)之前，最初包含在该工艺腔室(1)内的气体的温度比该第一温度低至少50K。


5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，进一步包括在步骤b)之前蒸发液氮和/或氩并使用步骤b)中的蒸发的氮气和/或氩气作为该吹扫气体。


6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，该吹扫至少进行到这样的程度，以致于在该吹扫之后该工艺腔室(1)内的氧气浓度低于1000ppm[百万分之]。


7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，以下参数中的至少一个
-步骤b)中的吹扫气体的流量，以及
-进行步骤b)的吹扫时间，
取决于以下参数中的至少一个来加以控制：
-在该工艺腔室(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：塞克兹·卡亚，马库斯·埃芬格，
申请(专利权)人：乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司，
类型：发明
国别省市：法国;FR