本发明公开了一种大面积可向下蒸镀线源，涉及蒸镀加工领域，包括：坩埚体和盖合在所述坩埚体顶部的坩埚盖，所述坩埚体的内部设置有料仓，且所述料仓用于盛放蒸镀材料，所述坩埚体的底部端口设置有若干个喷嘴，且所述喷嘴与所述坩埚体之间设置有输送通道，...

本发明公开了一种便于膜厚取样的大型蒸镀机，涉及蒸镀机领域，包括蒸镀机、位于所述蒸镀机内部的蒸镀工艺腔室、架装于所述蒸镀机外部的间歇性膜厚取样侦测机构；所述间歇性膜厚取样侦测机构用于间歇性对硅片抽取检测硅片表面蒸镀膜的厚度，所述间歇性膜厚...

本发明提出了一种钙钛矿电池制备方法及设备，涉及太阳能电池生产技术领域。该钙钛矿电池制备方法，包括：利用真空镀膜法依次将空穴传输层、钙钛矿层和电子传输层镀膜在底电极层上，空穴传输层、钙钛矿层和电子传输层在进行真空镀膜时，将对应被镀膜面按形...

本发明提出了一种蒸镀点源材料回收盒，涉及蒸镀技术领域。包括蒸镀设备以及点源，蒸镀设备内为蒸镀腔室；蒸镀设备且位于蒸镀腔室内设有基板，基板位于点源的喷射口上方；还包括底部开口的材料回收盒，材料回收盒设于蒸镀设备且位于蒸镀腔室内，材料回收盒...