一种在压印光刻术处理过程中测量或监测至少一个参数的处理过程，包括如下步骤：提供具有用于压印测试图的表面的模具（方框Ａ）；把测试图压印在可塑表面上（方框Ｂ）；照射测试图（方框Ｃ）；测量散射、反射、或透射的辐射中的分量，以监测压印的参数（方...