萍乡市海目芯微电子装备科技有限公司专利技术

萍乡市海目芯微电子装备科技有限公司共有4项专利

  • 本技术提出一种掩模板调整装置及曝光机,掩模板调整装置包括掩模板、载台、固定组件、升降组件及多个球头,载台设置在掩模板底部;多个球头设置在载台的顶部,且多个球头对应分布在掩模板的底部四周;升降组件设置在载台底部,升降组件上升时与载台抵接并...
  • 本技术公开一种通用载台,包括支架、承载平台、以及多个吸气装置,所述承载平台位于所述支架的上端,所述承载平台具有承载面,所述承载面开设有多个沿上下向延伸的吸气口,所述承载平台内部形成有多个沿纵向延伸的纵向气道以及多个沿横向延伸的横向气道,...
  • 本技术公开一种激光切割抽尘装置,激光切割抽尘装置包括抽尘内圈和抽尘外壳,所述抽尘内圈具有使激光光束通过的光束通道;所述抽尘外壳套设于所述抽尘内圈的外周,所述抽尘内圈与所述抽尘外壳间形成抽尘腔,所述抽尘腔具有烟尘入口和烟尘出口,所述烟尘入...
  • 本发明提出一种上下料中转搬运装置以及上下料中转搬运方法,其中,所述上下料中转搬运装置包括第一载台、第二载台、第一加工单元、导轨、第一搬运组件以及第二搬运组件;所述第一载台与所述第二载台均用于承托物料,所述第一加工单元用于加工所述第一载台...
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