本申请公开了一种全方位动热源式单轴微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括敏感层、基底层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器和一对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过八个完全对称的半圆形支撑梁悬...

本实用新型涉及惯性测量技术领域，尤其是涉及一种热膨胀式流体三轴加速度计。该热膨胀式流体三轴加速度计采用方形结构嵌套的检测层，方形结构嵌套包括外方形结构和内方形结构，外方形结构上设置有绝缘子接线柱以及悬置于绝缘子接线柱上的金属电阻桥热敏丝...

本发明涉及惯性测量技术领域，尤其是涉及一种热膨胀式流体三轴加速度计及其加工方法。该热膨胀式流体三轴加速度计采用方形结构嵌套的检测层，方形结构嵌套包括外方形结构和内方形结构，外方形结构上设置有绝缘子接线柱以及悬置于绝缘子接线柱上的金属电阻...