本发明公开了一种声换能器，包括：包括其中具有多个穿孔的平面表面的覆盖件；以可操作方式与所述穿孔部件相连的基片；位于所述覆盖件和所述基片之间的隔膜，所述隔膜能够在与所述覆盖件的所述表面平行的平面上横向移动；其中所述覆盖件包括在所述覆盖件和...

本发明公开了固态微结构如电容麦克风的多个实施例。根据一实施例，换能器包括一固定穿孔部件、与穿孔部件间隔开的可自由移动的隔膜、在穿孔部件上用以保持隔膜和周边附近穿孔部件之间适当间距的支持环、允许隔膜自由置于支持环和机械地将隔膜从穿孔部件上...