本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种第三代半导体三维缺陷检测方法，包括：将样品放置在移动平台上；采用近红外激光对移动平台上的样品进行红外扫描；对样品进行红外扫描后，根据反馈信号判断样品是否存在缺陷；本发明利用非线性光学技术，当光学与材...

本发明涉及图像处理方法技术领域，具体涉及一种基于加速光点扫描的造影方法，包括：将待测样品放置在平台上；控制激光光点沿平台往复水平移动进行扫描，驱动平台沿激光光点扫描方向的垂直方向移动，采集到待测样品不同位置的图像；将待测样品不同位置的图...