【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及图像处理方法，尤其涉及一种基于加速光点扫描的造影方法。
技术介绍
1、在半导体产业中，通常需要对样品进行表面形貌检测，检测时需要对待测样品图像进行扫描，以获取待测样品图像。
2、目前，待测样品图像的获取是采用激光光点扫描的方式，激光光点扫描的速度由驱动激光移动的光学镜片所决定，传统二维扫描速度固然可以很快，却只局限在镜片可扫描范围内，若待测样品的尺寸大于扫描范围时，则需搭配机构平台来进行平行走位，再经软件将局部影像拼接成为大尺寸图像。
3、但是采用上述方式，激光扫描造影都是一个面接一个面的进行，平台移动是一次行进一个单位长度，平台从启动到停止需历经加速，移动，减速及定位的程序，这些程序都会影响到平台移动的时间，以这样的方式来移动平台是较花时间的，从而导致激光扫描造影的速度较低。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种基于加速光点扫描的造影方法，利用连续不间断的方式来移动平台，省去平台每次走停时花在加减速的时间，将这些时间花在造影上，进而加速大范围激光扫描造影的速度。
2、为实现上述目的，本专利技术提供了一种基于加速光点扫描的造影方法，包括：
3、将待测样品放置在平台上；
4、控制激光光点沿平台往复水平移动进行扫描，驱动平台沿激光光点扫描方向的垂直方向移动，采集到待测样品不同位置的图像；
5、将待测样品不同位置的图像进行拼接，得到完整的二维图像。
6、其中，所述将待测样品不同位置
7、对二维图像的亮度和对比度进行调整，提高二维图像的可视性和清晰度。
8、其中，所述对二维图像的亮度和对比度进行调整，提高二维图像的可视性和清晰度后，还包括步骤：
9、去除二维图像的图像噪点，提高图像质量。
10、其中，所述控制激光光点沿平台往复水平移动进行扫描，驱动平台沿激光光点扫描方向的垂直方向移动，采集到待测样品不同位置的图像的具体步骤包括：
11、确定激光光点和平台移动的终止点；
12、控制激光光点沿平台往复水平移动进行扫描，一直到待测样品的边界再折返；
13、驱动平台沿激光光点扫描方向的垂直方向移动，使激光光点对待测样品重复扫描，直到完全覆盖待测样品的表面为止，采集到待测样品不同位置的图像。
14、本专利技术的一种基于加速光点扫描的造影方法，通过将待测样品放置在平台上，控制激光光点沿平台往复水平移动进行扫描，驱动平台沿激光光点扫描方向的垂直方向移动，采集到待测样品不同位置的图像，将待测样品不同位置的图像进行拼接，得到完整的二维图像；本专利技术利用连续不间断的方式来移动平台，省去平台每次走停时花在加减速的时间，将这些时间花在造影上，进而加速大范围激光扫描造影的速度；以往利用点到面成像，再移动平台来达到大范围的成像，其顺序是面成像，移动平台再面成像，进而组装成大尺寸的图，由于平台需要走停(跳停)，虽然行走的距离与连续移动相同，但所花的时间却是远大于连续移动，因此本专利技术通过连续移动，只要在限定的长度间距输出信号进行影像同步，无需停下平台，省去了加减速的时间，大区域造影便能加快。由于目前分析速率远大于数据截取速率，利用本专利技术的造影方法，可以加速检测的速率。
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1.一种基于加速光点扫描的造影方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种基于加速光点扫描的造影方法，其特征在于，
3.如权利要求2所述的一种基于加速光点扫描的造影方法，其特征在于，
4.如权利要求3所述的一种基于加速光点扫描的造影方法，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种基于加速光点扫描的造影方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种基于加速光点扫描的造影方法，其特征在于，
...
【专利技术属性】
技术研发人员：李峯杰，
申请(专利权)人：南京新达光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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