本实用新型公开了复合气体混合装置，包括混合室，混合室是一个内部圆柱体的空腔，混合室周壁下部连接多个进气接头，混合室的顶部设置有出气接头，进气接头和出气接头上安装有调节阀门，混合室的下部安装有脉冲反吹装置，脉冲反吹装置包括喷吹管、喷吹气包...

本实用新型公开了并联双管路抽气系统，包括真空室和主管路，主管路与真空室连接，在主管路上设置并联支路，主管路上安装有蜗轮阀，并联支路上安装挡板阀，主管路再连接串联管道，主管路与串联管道之间安装罗茨泵，串联管道末端连接旋片泵。真空室连接主管...

本实用新型公开了真空室门密封降温冷却系统，包括真空室，真空室具有内壁、外壁和门口，门口处用于安装真空室门，门口的边缘为一圈橡胶密封圈，橡胶密封圈通过真空室门密封门口，在靠近门口处的内壁和外壁之间具有一个夹层通道，夹层通道内布置有铜管，铜...

本实用新型公开了外接高频电聚甲醛塞钢密封绝缘法兰系统，包括一组聚甲醛塞钢法兰和一个碳钢法兰，一组聚甲醛塞钢法兰配合安装在铜棒上，铜棒上具有一个台阶，该台阶将铜棒分成长端和短端，铜棒的台阶连同铜棒本身插于第二聚甲醛塞钢法兰内，铜棒的短端套...

本实用新型公开了多方位均匀加热系统，包括真空室，真空室具有内壁、外壁和用于安装真空室门的门口，真空室内安装有移动式内部支架，移动式内部支架上固定有上托盘和下托盘，上托盘的底部设置有上加热管，下托盘的底部设置有下加热管，真空室的顶部居中位...

本实用新型公开了气体流量双控系统，包括浮子流量计，浮子流量计的上部连接出气接头，出气接头对应处的浮子流量计上设置出气开关，浮子流量计的下部连接进气接头，进气接头上安装有针阀，针阀具有进气口、出气口和针阀开关，针阀的出气口与浮子流量计的进...

本实用新型公开了真空室内用加热管，包括电热丝、金属外套管、引出棒和填充料，电热丝置于金属外套管内，电热丝的两端连接引出棒，引出棒从金属外套管两端伸出，金属外套管内填充有填充料，电热丝和填充料组成发热传热部分，金属外套管的两端安装陶瓷纤维...

本发明公开了一种等离子体非金属陶瓷合金技术，用于对小、轻、薄零部件进行表面改性，其特征在于：在真空容器内加工零部件温度控制在200摄氏度以下，使用氮气、硅烷、硼烷对零部件加工面进行离子渗透。本发明降低生产环境温度，可以对小、轻、薄零部件...

本发明公开了一种基于等离子体技术的缸套内表面多元非金属层制备方法，该方法以真空室为基础条件实施的，其操作步骤如下：首先将清洁的缸套套装到真空室内的接地台配置的电极上，电极与缸套同轴套合，关闭真空室抽真空，引入氮气或氩气，待真空室气压升至...