复合气体混合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了复合气体混合装置，包括混合室，混合室是一个内部圆柱体的空腔，混合室周壁下部连接多个进气接头，混合室的顶部设置有出气接头，进气接头和出气接头上安装有调节阀门，混合室的下部安装有脉冲反吹装置，脉冲反吹装置包括喷吹管、喷吹气包和脉冲阀，喷吹气包上安装有脉冲阀，脉冲阀配一根喷吹管，喷吹管安装在混合室内部下方。通过在混合室周壁下部连接多个进气接头，在混合室的顶部设置出气接头，进气嘴和出气嘴均由多节环形仓连接，进气出气更加顺畅，这样工作气体从多个进气接头进去，混合室内部空间大，能够混合均匀，再加上喷吹管的向上喷吹，加速气体混合，再从出气接头将混合气体送入到真空室。

【技术实现步骤摘要】
复合气体混合装置
本技术涉及一种气体混合装置，具体涉及一种复合气体混合装置。
技术介绍
十字四通接头是一种常见的接头，用于液体或者气体管路，在等离子技术中，缸套内表面形成微薄非金属层，工作气体至少由三种混合输入到真空室，气体直接在接头中混合，没有混合空间，使三种工作气体混合不均匀，且十字四通接头存在密封性差的问题，结构不牢靠。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种混合均匀的复合气体混合装置。本技术提供如下技术方案：复合气体混合装置，包括混合室，所述混合室是一个内部圆柱体的空腔，所述混合室周壁下部连接多个进气接头，所述混合室的顶部设置有出气接头，所述进气接头和出气接头上安装有调节阀门，所述混合室的下部安装有脉冲反吹装置，脉冲反吹装置包括喷吹管、喷吹气包和脉冲阀，所述喷吹气包上安装有脉冲阀，所述脉冲阀配一根喷吹管，所述喷吹管安装在混合室内部下方。进一步的，所述进气接头设置有3个，第一进气接头、第二进气接头和第三进气接头分别均匀布置在混合室周壁。进一步的，所述进气接头包括螺纹端和进气嘴。...

【技术保护点】
1.复合气体混合装置，其特征在于：包括混合室（1），所述混合室（1）是一个内部圆柱体的空腔，所述混合室（1）周壁下部连接多个进气接头，所述混合室（1）的顶部设置有出气接头（5），所述进气接头和出气接头（5）上安装有调节阀门（6），所述混合室（1）的下部安装有脉冲反吹装置，脉冲反吹装置包括喷吹管（7）、喷吹气包（8）和脉冲阀（9），所述喷吹气包（8）上安装有脉冲阀（9），所述脉冲阀（9）配一根喷吹管（7），所述喷吹管（7）安装在混合室（1）内部下方。/n

【技术特征摘要】
1.复合气体混合装置，其特征在于：包括混合室（1），所述混合室（1）是一个内部圆柱体的空腔，所述混合室（1）周壁下部连接多个进气接头，所述混合室（1）的顶部设置有出气接头（5），所述进气接头和出气接头（5）上安装有调节阀门（6），所述混合室（1）的下部安装有脉冲反吹装置，脉冲反吹装置包括喷吹管（7）、喷吹气包（8）和脉冲阀（9），所述喷吹气包（8）上安装有脉冲阀（9），所述脉冲阀（9）配一根喷吹管（7），所述喷吹管（7）安装在混合室（1）内部下方。


2.根据权利要求1所述的复合气体混合装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂毅东，朱刚，吴立南，
申请(专利权)人：南京朗仕億等离子体制造科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32