气体流量双控系统技术方案

本实用新型专利技术公开了气体流量双控系统，包括浮子流量计，浮子流量计的上部连接出气接头，出气接头对应处的浮子流量计上设置出气开关，浮子流量计的下部连接进气接头，进气接头上安装有针阀，针阀具有进气口、出气口和针阀开关，针阀的出气口与浮子流量计的进气接头连接。将浮子流量计安装在气体管路，浮子流量计的进气侧与针阀连接，通过针阀进行微调进气流量，浮子流量计与针阀相结合，实现流量的双控制，稳定性高，容易控制工作气体参数。

【技术实现步骤摘要】
气体流量双控系统
本技术涉及一种气体流量控制系统，具体涉及一种气体流量双控系统。
技术介绍
已知公开的专利号：201710753414.5，一种基于等离子体技术的缸套内表面多元非金属层制备方法，该方法以真空室为基础条件实施的，其操作步骤如下：首先将清洁的缸套套装到真空室内的接地台配置的电极上，电极与缸套同轴套合，关闭真空室抽真空，引入氮气或氩气，待真空室气压升至设定值时，温控系统控制加热器升温，再引入工作气体，在真空条件下电源及控制系统进入辉光放电处理程序，放电处理结束电源及控制系统便断开电源，停止供气，待降温后打开真空室取出缸套。在引入工作气体的过程中，需要对气体管路进行流量控制，一般采用阀门进行单一控制，存在不稳定的情况，导致工作气体参数控制差。
技术实现思路
为解决单一控制不稳定、不易控制工作气体参数的技术问题，本技术提供一种气体流量双控系统。本技术提供如下技术方案：气体流量双控系统，包括浮子流量计，所述浮子流量计的上部连接出气接头，所述出气接头对应处的浮子流量计上设置出气开关，所述浮子流量计的下部连接进气接头，所述进气接头上安装有针阀，所述针阀具有进气口、出气口和针阀开关，所述针阀的出气口与浮子流量计的进气接头连接。进一步的，所述浮子流量计包括锥管、浮子和钢管，所述浮子设置在锥管内，所述锥管固定在钢管内。进一步的，所述浮子的上端设置气体阻尼器，所述浮子的下端设置下止档，所述浮子的上下两端分别通过气体阻尼器和下止档固定在钢管内。进一步的，所述钢管上下端设置有法兰。与现有技术相比，本技术的有益效果是：将浮子流量计安装在气体管路，浮子流量计的进气侧与针阀连接，通过针阀进行微调进气流量，浮子流量计与针阀相结合，实现流量的双控制，稳定性高，容易控制工作气体参数。附图说明图1为本技术结构示意图。图2为本技术浮子流量计的结构示意图。图中：1、浮子流量计，11、锥管，12、浮子，13、钢管，14、气体阻尼器，15、下止档，16、法兰；2、出气接头；3、出气开关；4、进气接头；5、针阀，51、进气口；52、出气口；53、针阀开关。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1和图2，本技术的气体流量双控系统，包括浮子流量计1，浮子流量计1的上部连接出气接头2，出气接头2对应处的浮子流量计1上设置出气开关3，浮子流量计1的下部连接进气接头4，进气接头4上安装有针阀5，针阀5具有进气口51、出气口52和针阀开关53，针阀5的出气口52与浮子流量计1的进气接头4连接。浮子流量计1包括锥管11、浮子12和钢管13，浮子12设置在锥管11内，锥管11固定在钢管13内。浮子12的上端设置气体阻尼器14，浮子12的下端设置下止档15，浮子12的上下两端分别通过气体阻尼器14和下止档15固定在钢管13内。利用阻尼来吸能减震，还能起到上止档的作用。钢管13上下端设置有法兰16。打开针阀开关53，工作气体从针阀5的进气口51进入，从针阀5的出气口52进入浮子流量计的进气接头4，通过调整浮子流量计出气开关2大小，调整浮子悬浮高度的刻度来控制工作气体参数。针阀5是一种微调阀，其阀塞为针形，主要用作调节气流量。被测流体从下向上经过锥管和浮子形成的环隙时，浮子上下端生产差压形成浮子上升的力，当浮子所受上升大于浸在流体中浮子重量时，浮子便上升，环隙面积随之增大，环隙处流体流速立即下降，浮子上下端差压降低，作用于浮子的上升力亦随着减少，直到上升力等于浸在流体中浮子重量时，浮子便稳定在某一高度。将浮子流量计1安装在气体管路，浮子流量计1的进气侧与针阀5连接，通过针阀进行微调进气流量，实现流量的双控制，稳定性高，容易控制工作气体参数。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.气体流量双控系统，其特征在于：包括浮子流量计（1），所述浮子流量计（1）的上部连接出气接头（2），所述出气接头（2）对应处的浮子流量计（1）上设置出气开关（3），所述浮子流量计（1）的下部连接进气接头（4），所述进气接头（4）上安装有针阀（5），所述针阀（5）具有进气口（51）、出气口（52）和针阀开关（53），所述针阀（5）的出气口（52）与浮子流量计（1）的进气接头（4）连接。/n

【技术特征摘要】
1.气体流量双控系统，其特征在于：包括浮子流量计（1），所述浮子流量计（1）的上部连接出气接头（2），所述出气接头（2）对应处的浮子流量计（1）上设置出气开关（3），所述浮子流量计（1）的下部连接进气接头（4），所述进气接头（4）上安装有针阀（5），所述针阀（5）具有进气口（51）、出气口（52）和针阀开关（53），所述针阀（5）的出气口（52）与浮子流量计（1）的进气接头（4）连接。


2.根据权利要求1所述的气体流量双控系统，其特征在于：所述浮子流量计（1）包括锥...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂毅东，朱刚，吴立南，
申请(专利权)人：南京朗仕億等离子体制造科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32