本技术提供一种样品托以及具有该样品托的薄膜转移装置，样品托包括优弧部以及分别位于优弧部的两开放端处的第一端部和第二端部；由第一端部沿轴线方向延伸，并朝向与优弧部对应的圆心延伸的第一托部；由第二端部沿轴线方向延伸，并朝向圆心延伸的第二托部...

本技术提供一种气相沉积设备，包括：内承载台以及环形壁；所述内承载台包括内筒体以及封闭所述内筒体一端的承载面，所述环形壁环绕所述承载面设置，所述环形壁上设置有若干进气通道以及与所述若干进气通道相对的排气通道。本技术通过在用于承载样品的承载...

本发明公开了一种化学气相沉积设备用的MO源系统，包括减压阀、Sorce‑MFC、Push‑MFC、压力控制器、Line阀、RUN阀、抽气阀和手动阀，所述减压阀用于控制单路MO源系统的进气压力，所述Sorce‑MFC用于控制流入源瓶的载气...