本实用新型公开了小车运行维护装置，包括底箱，所述底箱的顶部固定连接有滑轨，所述底箱内腔底部的右侧固定连接有电动气缸，所述电动气缸的伸缩端固定连接有连接板，所述连接板顶部的左侧固定连接有挡板，所述底箱内腔底部的左侧固定连接有伺服电机，所述...

本发明提出基于振动传感器的OHT天车振动报警控制方法及系统，包括步骤S1：对OHT天车进行传感器安装和数据采集；步骤S2：振动频率和X,Y轴的倾角变化数据通过RS485协议传送给OHT天车的PLC；步骤S3：OHT天车内的PLC将接收到...

本实用新型公开了一种流量控制装置，包括底板，底板顶部的左右两侧均固定连接有支撑杆，支撑杆的顶部固定连接有CO2供应管道，CO2供应管道的顶部从左至右依次设置有压力表、单向阀、过滤器、自动调节器、自动阀和流量计，底板的顶部固定连接有凹型框...

本实用新型公开了一种线缆识别装置，包括箱体，所述箱体内腔的背面设置有监测组件，所述监测组件包括PLC控制器，所述PLC控制器通过导线连接有识别模块，所述识别模块的背面与箱体内腔的连接处固定连接，所述识别模块的左侧通过导线连接有信号输入模...

本发明公开了一种具有自动调节输出的非接触式电源装置，该装置包括高频率逆变器、轨道电缆、第一耦合器、稳压器、运动控制器、ESM及马达驱动部；其中，高频率逆变器的输出端与轨道电缆保持连接，轨道电缆另一端与第一耦合器保持连接，第一耦合器另一端...

本实用新型提出一种玻璃基板对中传送装置，包括机架，机架一侧设有用于将不同尺寸的玻璃基板搬运至机架上方的搬运机器人，机架上设有用于传送玻璃基板的传送线，机架上设有用于顶起玻璃基板将其从搬运机器人转移至传送线上的顶起机构，机架上设有用于将玻...

本实用新型公开了一种倾斜式升降机结构，包括工件本体和底板，所述工件本体的两侧均设置有气缸本体，所述工件本体的两侧均通过螺栓螺纹连接有封板，所述封板的底部设置有支撑座。本实用新型通过设置工件本体、气缸本体、封板、支撑座、圆弧盘、浮动接头和...

本实用新型提出一种单片清洗晶圆腔室自清洁和密封的结构，涉及晶圆清洗技术领域，包括腔室本体，腔室本体呈内腔中空、顶部开口的桶状结构，腔室本体内腔底部中间位置一体化成型有固定块，固定块内部中间位置转动连接有轴向的支杆，支杆顶部延伸出固定块，...

本实用新型提出一种单片晶圆湿法清洗夹紧机构，涉及晶圆清洗技术领域，包括旋转部外壳以及设置在旋转部外壳内且与旋转部外壳固定连接的圆形支架，所述圆形支架上表面固定有若干对晶圆起到支撑作用的承托顶针，若干所述承托顶针以圆形支架的中心线为轴心阵...

本发明公开了一种等离子刻蚀机传片装置，包括传片机构、传输机构和切片机构，所述传片机构包括蚀刻机本体，所述蚀刻机本体内腔的底部活动连接有移动盘。本发明通过设置蚀刻机本体、移动盘、传输框架、固定块、螺纹杆、移动块、活动板、金属板、旋转气缸、...

本实用新型公开了一种铝型材框架封板边缘快速安装挤压铝型材，包括铝型材本体，所述铝型材本体的底部设置有安装板，所述铝型材本体顶部的两侧均嵌入设置有套管，所述套管的内腔滑动连接有活动杆，所述活动杆的表面开设有凹槽，所述凹槽的内腔固定连接有限...

本实用新型提出一种双Tank循环高效药液供给装置，涉及玻璃基板清洗技术领域，包括喷淋室，喷淋室内设有喷淋管，喷淋管上设有若干对玻璃基板进行清洗的喷淋嘴，喷淋室外侧设有对喷淋管起到供液作用的A供液组件和B供液组件，A供液组件和B供液组件与...

本发明涉及显示器生产加工技术领域，尤其为一种柔性显示器基板生产用分离装置及其分离方法，包括粘合剂输送基板和基板分离装置，粘合剂输送基板由柔性基板、基底基板和粘合剂构成，所述基底基板由玻璃基板和石英基板构成，所述基板分离装置包括供热装置、...

本发明公开了基于运用镜反射光电传感器的OHT小车正位控制，包括防护壳、反射板和PLC控制器，所述防护壳内腔的底部固定连接有塑胶座，所述塑胶座的顶部设置有镜反射传感器。本发明通过镜反射传感器、发射端、接收端、反射板、PLC控制器的配合，来...

本实用新型涉及过滤设备技术领域，尤其为一种超高压微喷射清洗系统用空心纱式过滤模块，包括安装板，所述安装板的顶部设置有过滤模块，所述安装板的顶部设置有管道，所述管道的内腔设置有文丘里管，所述管道的内腔设置有空心纱模块，所述管道的两端均固定...

本实用新型提出一种便于泵装卸的支撑机构，涉及LED玻璃基板清洁技术领域，包括底板，底板上表面的一侧固定有便于固定并支撑泵本体的安装板，底板上表面的另一侧设置有便于拆卸泵本体的倾斜组件，且倾斜组件位于安装板旁侧，该便于泵装卸的支撑机构，通...

本实用新型提出一种兼容多种尺寸规格玻璃基板的浮动式对中结构，涉及半导体技术领域，包括支撑底板，支撑底板上表面设置有对玻璃基板进行对中的对中组件，对中组件由双侧导向轮组件以及两个单侧导向轮组件组成，两个单侧导向轮组件分别位于双侧导向轮组件...

本发明提出一种卡匣清洗作业的转运运输组件，涉及卡匣清洗技术领域，包括底座、设置在底座上且用于支撑卡匣本体的动力骨架，底座上设有位于动力骨架旁侧且对卡匣本体进行清洗的清洗件以及对卡匣本体进行烘干的风干件，该卡匣清洗作业的转运运输组件，卡匣...

本实用新型提出一种用于防静电的湿法高压雾化玻璃基板清洗装置，涉及LED玻璃基板清洗技术领域，包括超纯水供应罐，超纯水供应罐的出水口与增压水泵的进水口通过管路连通，增压水泵的出水口与喷淋管的进水口通过管路连通，喷淋管上均匀设有若干清洗LE...

本实用新型提出一种引线框架干胶膜层压装置，包括用于放卷第一干膜的第一辊轮和用于放卷第二干膜的第二辊轮，第一辊轮和第二辊轮下方设有在引线框架基材上按压第一干膜或第二干膜的按压机构，按压机构上方设有用于将第一干膜或第二干膜导入按压机构的导辊...