本发明涉及超声波检测装置，包括：检测模块，其包括多个探头(Probe)，以被检测体为对象进行超声波扫描；处理模块，其发送超声波发生信号，使所述多个探头产生超声波信号，基于所述探头探测到的超声波反射信号，生成对所述被检测体检测面的图片；控...

本发明作为检测晶圆(Wafer)缺陷的超声波检测系统，包括：移送机器人模块(110)，其具备从装载多个晶圆的装载模块(101)卸载晶圆后，将所述晶圆移送到进行超声波检测的固定检测位置的臂(Arm)单元；检测模块(130)，其至少具备一个...