一种用于控制MEMS装置的结构特性的系统和方法，包括：将多个孔蚀刻到所述MEMS装置的表面中；其中多个孔包括被确定为MEMS装置提供所需的特定的结构特性的一个或多个几何形状。

本发明提供了一个以六个自由度移动平台的封装。该平台可以包括安装在其上的光电子装置。封装包括可以是MEMS致动器的平面内致动器和可以由压电元件形成的平面外致动器。平面内MEMS致动器可以安装在平面外致动器上，平面外致动器安装在PCB中的凹...

提供了一种简化的MEMS制造工序和MEMS装置，允许制造更便宜和更轻的MEMS装置。该工序包括将多个孔或其它特征图案蚀刻到MEMS装置中，然后蚀刻掉下面的晶片，使得在蚀刻工序之后，MEMS装置是所需的厚度并且单独的模具被分离，从而避免晶...

公开了抗震MEMS结构。在一个实施方式中，用于MEMS装置的运动控制挠曲件包括：包括第一端部和第二端部的杆，其中杆沿其长度逐渐变细，使得杆在其中心处最宽并且在其端部处最薄；直接连接到杆的第一端部的第一铰链；以及直接连接到杆的第二端部的第...

系统和方法提供准确的像素深度信息，以应用于单个相机在生成三维(3D)图像时拍摄的单个图像。具体而言，可在例如相机的横向运动期间捕获两个或更多个图像，以确定像素级上的场景中的深度。使用能够提供至少三个稳定轴的光学图像稳定(OIS)系统消除...

系统和方法提供了致动器控制。致动器控制经由与电压控制相反的电荷控制提供。用于驱动致动器的驱动器可以包括用于将电荷注入到致动器的一个或多个电容元件中的电荷泵。驱动器可以进一步包括用于检测致动器的电容元件的电容的电容检测方面以确定致动器的位置。

一种挠曲件，包括：连接到第一框架的第一支撑端；连接到第二框架的第二支撑端；和将第一支撑端与第二支撑端连接的弯折部分。挠曲件的长度显著大于其宽度，并且，挠曲件的宽度显著大于其厚度。在操作过程中，将挠曲件保持在弯折状态中，在该状态下，挠曲件...