本技术揭示超纯电子级硫酸制备装置。该装置包括：蒸气蒸发器，供应蒸气以便保持均匀温度；氮气注入装置，位于吸收塔下端，防止外部空气所含杂质流入；混合装置，混合水与硫酸；及，密封罐，用于排放废气；蒸气蒸发器包括：内壳体，以圆筒形形成，在内侧收...