一种电可擦除可编程非易失性存储器单元(1200)包括：半导体衬底(102)，该半导体衬底具有位线区(104)、在横向方向上与该位线区分开的表面区(106)、和沟槽区，该沟槽区包括与该半导体衬底中的沟槽相邻的底部部分(108a)和侧壁部分...