一种电光器件及其制造方法涉及将凹陷接触蚀刻到普克尔层中，诸如通过在接触区域内部分去除BTO材料，然后在蚀刻出的凹陷中形成金属电极。在理想情况下，这种凹陷接触蚀刻在BTO中产生圆角，以最小化电场拥挤。

一种电光方法和器件，其包括用于泡克尔斯材料的钝化或保护结构。这可以是单层，或者可以是不同材料的若干层的堆叠体。典型地，这种结构位于波导（如含有氮化硅的波导）和泡克尔斯材料（如BTO（BaTiO3）层）之间。已经发现，BTO的还原反应严重...