本发明涉及适用于确定晶片或掩模容器或至少部分的晶片或掩模容器的状态和/或内容物的检查系统，其包括检测设备或多个检测设备(102、104、152、154、156、158、160、164)，检测设备或多个检测设备适于从晶片或掩模容器或部分的...