李朱育专利技术

李朱育共有1项专利

  • 一种光学对位检测装置,适于检测待测波片,光学对位检测装置包括光源系统、第一线偏振片、第二线偏振片以及光检测器。光源系统投射光束,沿着光束的传递路径方向依序为第一线偏振片、第二线偏振片以及光检测器。待测波片可旋转地设置于第一线偏振片及第二...
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